Лабораторная работа №6 Получение высокого вакуума и анализ состава остаточных газов

Вакуумная система масс-спектрометра вторичных ионов XT300M

Вакуумная система предназначена для создания вакуума в аналитической

стойке,   а   также   для   выполнения   служебных   вспомогательных   операций,

необходимых при обслуживании установки.

Система включает в себя (рис.12.):

1)   шлюзовое   устройство   (

Ш

),   предназначенное   для   быстрой   смены

исследуемых   объектов   без   нарушения   рабочего   вакуума   в   аналитической

стойке,   которое   состоит   из   внутреннего   клапана   с   поворотной   турелью   и

держателем для установки шести образцов, внешнего клапана со смотровым

окном, клапана напуска воздуха в шлюзовую камеру и клапана форвакуумной

откачки;

2) высоковакуумный   вентиль   (

К4

)   с   эластичным   уплотнением,

предназначенный   для   отсечения   рабочего   вакуумного   объема   от

высоковакуумного насоса;

3) высоковакуумный   пароструйный   насос   (

НВ

)   НВДС-100,

обеспечивающий скорость откачки 500 литр/сек;

22

Рис.12.  Блок-схема вакуумной системы масс-спектрометра вторичных ионов        

XT300M:

НВ - пароструйный насос НВДС-100; НФ - форвакуумный насос 2НВР-5ДМ; КЗ,

К8...К10 -электромагнитные клапаны ; Ш - шлюз;  К5 -  шлюзовой клапан;  ЛВ -

азотная   ловушка;   МП1   -   ручка   клапана   отсечки   аналитической   камеры   от

параструйного   насоса;   МП2   -   ручка   манипулятора   образцов;   Б1,   Б2   -   балоны

высокого давления с редукторами Р1, Р2 и манометрами; Д1, Д2 - датчики давления

(термопарные); К1, К2 - натекатели с пьеэовентилями.

4) форвакуумный насос (

НФ

) 2НВР-5ДМ;

5)

форвакуумную   магистраль   с   системой   электромагнитных

клапанов сильфонного типа;

6) систему   натекания   рабочего   газа   в   ионные   источники,   содер-

жащую   баллоны   высокого   давления   с   редукторами   и   манометрами   и

регуляторы напуска газа (пъезовентили).

Для дозированной подачи инертных газов в ионный источник применена

система натекания СНА-2 и механические натекатели с пьезовентилями.

23

Вакуумная система позволяет получить рабочее давление в аналитической

стойке   прибора   <7-10

-6

  Ра.  Контроль   давления   осуществляется   двумя

стандартными   термопарными   датчиками   типа   ПМТ-4М,   которые

обеспечивают   измерение   давления   от   1,3-10

-1

  Ра   до   13   Ра   и   магнито-

ионизационным датчиком МИД, обеспечивающим измерение давления от 1,3-

10

-6

 до 10

-2

 Ра.

Управление   вакуумной   системой   осуществляется   с   помощью   блока

управления.

Функция   блока   управления   сводится   к   подаче   на   электромагнитные

клапаны   КЗ,   К8...К10   при   нажатии   соответствующей   кнопки   сначала

импульсного   форсирующего   напряжения   (за   счет   разряда   конденсатора),   а

затем удерживающего (порядка 6-7 В).

  Пошаговая инструкция по подготовке и выполнению измерений приводится в

отдельном файле в практикуме (предварительного изучения не требуется).  

жүктеу/скачать 2.28 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: