99
2.3. осаждение и напыление на подложку
блоны, определяющие, какая часть подложки будет подвержена экс-
понированию, а какая нет. Простейшим примером такого шаблона
является пластина с прорезями, выполненная из непрозрачного для ис-
пользуемого излучения материала. Необходимость увеличения плот-
ности элементов микроэлектроники на единичную
площадь привела
к созданию сложных систем масок и оптических устройств, позволя-
ющих увеличить разрешающую способность метода. Поскольку боль-
шинство материалов, используемых в современной микроэлектрони-
ке, малочувствительны к излучению или потоку частиц,
для лучшей
репликации рисунка на поверхность подложки наносят фоточувстви-
тельный материал, называемый резистом. Свет взаимодействует с ре-
зистом, вызывая изменение его структуры или химического состава,
что позволяет создать рельеф на поверхности подложки растворени-
ем экспонированной (или наоборот, неэкспонированной)
части рези-
ста. Таким образом, по типу влияния излучения на материал резисты
делят на «позитивные» и «негативные». При использовании «позитив-
ного» фоторезиста проявителем вымываются освещенные участки,
при использовании «негативного» — затененные.
Например, кремниевая подложка (основа) с полимерной фоточув-
ствительной пленкой (резистом) закрепляется под системой излуче-
ния на позиционном столе и перемещается так,
чтобы на ней были
последовательно обработаны все формируемые интегральные схемы
(чипы). Под действием ультрафиолетового излучения, прошедшего
через прозрачные места в маске (трафарете), светочувствительный
слой в соответствующих местах приобретает способность к раство-
рению и затем удаляется органическими растворителями.
Современная технология позволяет промышленно производить
большие интегральные схемы с минимальными
размерами элемен-
тов схемы (шириной соединительных проводов) около нескольких де-
сятков нанометров. Используя излучения различной частоты и интен-
сивности удается получать все меньшее разрешение элементов схем.
Нанесение пленок методом ленгмюра
–Блоджетт
Метод Ленгмюра–Блоджетт исторически предшествовал процессу
самосборки и широко использовался для подготовки и изучения оп-
тических покрытий, биосенсоров, лиганд-стабилизированных класте-