Приложение Терминологический англо-русский словарь по мэмс и нэмс a ablation

N

 Nanometer - нанометр. Единица толщины/длины, равная 10^-9 м. 1 нм=10 ангстрем.

 Nanotechnology - нанотехнология. Технология, позволяющая создавать устройства (элементы устройств), размеры которых составляют от 0,5 нм до 0,1 мкм.

 Negative lithography – негативная (обратная) литография. Перенос на поверхность подложки изображения, противоположного (обратного) изображению на маске (на фоторезисте).

 Negative resist - негативный резист. При использовании негативного фоторезиста участки, которые были освещены (подвержены экспонированию) закрепляются и остаются после проявления.

 N-epi - эпитаксиальный слой, легированный примесью n-типа проводимости. Для Si – это легирование P, As или Sb.

 Netlist - список (таблица) элементов. Компьютерный файл, перечисляющий все элементы схемы (микросхемы) вместе с узлами, с помощью которых они связаны между собой. Это своего рода спецификация (список) элементов схемы (микросхемы). Например, такой список элементов формируется в программной среде SPICE.

 Nitinol (nickel titanium alloy) – нитинол. Сплав никеля с титаном. Обладает суперупругостью, памятью формы, высокой устойчивостью к коррозии, биосовместимостью. Используется при создании минимально инвазивного хирургического оборудования, например, в эндоскопах. Инвазивность – способность возбудителей инфекционных заболеваний (вирусов, бактерий и др.) проникать в организм человека и распространяться в нем.

 Nitric acid (HNO₃) – азотная кислота. Сильный окислитель. Используется в виде растворов для жидкостного травления металлов и для очистки кремниевых подложек.

 Nitride – нитрид. Соединения азота с более электроположительными элементами, главным образом с металлами. По строению и свойствам нитриды подразделяются на три группы: солеобразные, ковалентные, металлоподобные. Например, соединение аммиака и моносилана используется в процессе химического осаждения из газовой фазы для формирования электроизоляционных (непроводящих) тонких пленок нитрида кремния: NH₃+SiH₄→Si₃N₄+H₂. Пленки нитрида кремния отличаются химической инертностью и применяются, например, для создания изопланарной изоляции элементов СБИС и LOCOS-процессе.

 Nitrogen - азот, атомный символ N. Химический элемент V группы периодической системы Менделеева. Атомный номер 7, атомная масса 14,0067. Удельный вес 0,972. Бесцветный газ, не имеющий ни запаха ни вкуса, очень мало растворим в воде. Азот широко используется в ходе технологии ИС как инертный промывочный газ вследствие низкой стоимости. Однако его следует использовать осторожно, потому что при некоторых услоиях он начинает вступать в реакцию с другими веществами. Например, при температуре >950^oC азот будет термически реагировать с кремнием, формируя нитрид кремния в среде, обеднённой кислородом. Поэтому когда в диффузионной печи температура становится >950^oC обычно добавляют небольшое количество кислорода для подавления формирования нитрида кремния.

 Nodal analysis - узловой анализ. Относится к методологии структурного проектирования. Используется для разработки точных, заранее предопределенных блоков. Состоит из следующих этапов. Декомпозиция (разбивка) схемы на N устройств. Моделирование каждого устройства посредством простых дифференциальных уравнений с коэффициентами, параметризированными исходя из геометрии устрйства и свойств материала, полученных в ходе практических измерений или из спецификации (возможностей) используемого технологического процесса. Соединение устройств в узлы и решение результирующих связанных (сложных) дифференциальных уравнений в стандартных микроэлектронных симуляторах. Иногда в некоторой научно-технической литературе понятие «узловой анализ» относится к физико-химическому анализу кристаллической структуры веществ, а также элементов, находящихся в узлах кристаллической решетки. Пример: узловой анализ вещества GaAlAs или определение межузельного расстояния в кристаллической решетке кремния.

 Node - узел. Элемент кристаллической решетки вещества.

 Noise Density - интенсивность звука (шума). Интенсивность звука – средняя по времени энергия, которую звуковая волна переносит в единицу времени через единицу поверхности, расположенной перпендикулярно к направлению распространения волны. Однако в англоязычной литературе по МЭМС – тематике под этим выражением более понимают «величину шумовых сигналов». Величина шумового сигнала – это минимальный разрешенный сигнал сенсора при комнатной температуре и номинальном напряжении. Шумовой сигнал – это флуктуации тока и напряжения относительно их среднего значения. Флуктуации возникают в результате дробового эффекта (неравномерность диффузии электронов в полупроводниках), а также в результате теплового движения носителей заряда в полупроводниках.

 Non-contact handling - бесконтактное, дистанционное управление. Бесконтактный захват и перемещение объектов, например, в магнитном или электростатическом поле.

 Nonlinearity – нелинейность. Отклонение от линейной зависимости (в виде прямой линии) выходного сигнала устройства от входного параметра. Пример из нелинейной оптики: в условиях сильных световых полей поляризация среды начинает нелинейно зависеть от напряженности электрического поля световой волны. Нелинейная акустика изучает свойства звуковых волн большой амплитуды (интенсивности). В условиях нелинейности прямая линия может быть определена лишь при использовании конечных точек зависимости (другое название – терминальных, концевых точек зависимости), а также методом аппроксимации. Аппроксимация – замена одних математических объектов другими, более простыми и близкими к исходным (замена кривых линий близкими к ним ломаными).

 Notch – выемка, метка, насечка. Специально созданная технологическая насечка на торце подложки. Насечка ориентирована так, чтобы диаметр, проходящий через центр насечки, был параллелен определенному кристаллографическому направлению. Применяется в технологии для одинакового ориентирования пластин в реакторе при выполнении какого-либо критичного технологического процесса.

 Novolak – новолак. Новолачная смола. Аморфный полимерный лак. Термопластичная фенол-формальдегидная смола. Отверждается только в присутствии специальных реагентов – отвердителей. Используется в формовке, при соединении (склеивании) материалов, а также при выполнении электрической изоляции, например, между слоями многослойной металлизации или для бескорпусной сборки изделий.

 Numerical Aperture (NA) - числовая апертура. Параметр, определяющий геометрию линзы объектива, используемую в проекционной фотолитографии. Определяет способность линзы собирать свет дифрагированный от маски/промежуточного фотошаблона.

 N-well – n-карман. Локальная, диффузионно созданная, область чипа, легированная примесью n-типа, в теле которой, как «в кармане», формируются p-канальные МОП-транзисторы и устройства.