Аберрации линзы заключаются в том, что ее фокусное расстояние меняется в зависимости от радиального местоположения электронов при прохождении через линзу. Фрост, Пурл и Джонсон [11] обнаружили, что измеренный пучок из высокопервеансной пушки был большего диаметра и менее однородным по плотности тока, чем ожидалось согласно теории. Видоизменяя сферический радиус катода, как показано на рис. 1.13, они смогли скорректировать аберрацию линзы. Получившиеся улучшения характеристик пучка показаны на рис. 1.14. В левом верхнем углу изображены контуры тока пучка, полученные до того, как была сделана корректировка. Стоит обратить внимание на сильную неравномерность тока как функции от радиального местоположения в пучке.
После модификации радиуса катода были получены контуры пучка, изображенные в левой нижней части рис. 1.14. Была не только улучшена однородность тока пучка, но также был уменьшен его минимальный радиус. После дополнительного небольшого изменения напряжения на фокусирующем электроде была получена форма пучка, изображенная справа на рис. 1.14. На нем крестиками отмечены теоретически предсказанные значения, которые с большой точностью совпали с экспериментальными. Использовались теории Пирса, а также Катлера и Хайнса, с помощью которых было рассчитано влияние тепловых скоростей на пучок (этот эффект будет обсуждаться в следующем параграфе).
|
Рис. 1.14 - Контуры тока пучка измеренные до и после корректировки сферической аберрации.
|
Достарыңызбен бөлісу: |