Лабораторная работа №6 Получение высокого вакуума и анализ состава остаточных газов

1 2 3 4 5 6 7 8 9

vacuum

8. Требования к отчету

Отчет должен содержать:

1) краткие сведение о физических основах получения и контроля

сверхвысокого вакуума;

2) блок-схему вакуумной системы XT300M;

3) экспериментальные данные при получении сверхвысокого вакуума;

4) анализ полученных результатов и выводы по работе.

9. Контрольные вопросы

1. Как можно характеризовать вакуум?

2. В чем заключается принцип работы форвакуумного, диффузионного и

турбомолекулярного насоса?

3. В чем заключается принцип работы термопарного и ионизационного

вакуумметров? Каков диапазон измерений?

4. Чем определяется состав остаточных газов в вакуумной камере?

5. Основные принципы работы масс-спектрометра и ионизатора

остаточных газов.

6. Что такое разрешающая способность масс спектрометра? Для чего

нужна высокая разрешающая способность?

7. Объясните блок-схему, назначение основных отдельных элементов

вакуумной системы МС-7201М, порядок откачки отдельных узлов,

перечислить этапы получения сверхвысокого вакуума.

1. Лубенец В. Д. Вакуумные системы. М.: Машиностроение, 1968.

2. Розбери Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. М.: Энергия,

1972.

3. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: Энергия, 1965.

Приложение 1.

Достарыңызбен бөлісу:

1 2 3 4 5 6 7 8 9