Я. Купалы, Беларусь объединение процедур интерферометрического контроля и измерения углов клиновидных пластин
жүктеу/скачать 25.25 Kb.
|
УДК 535(06)+004(06) А.И. БАРТАСЕВИЧ, А.М. ЛЯЛИКОВ Гродненский государственный университет им. Я. Купалы, Беларусь ОБЪЕДИНЕНИЕ ПРОЦЕДУР ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ И ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВ КЛИНОВИДНЫХ ПЛАСТИН Предложен новый подход в создании интерферометрических систем, объединяющий процедуры измерения и контроля параметров оптических элементов. К одной из актуальных задач оптических измерений относится выявление и измерение остаточной клиновидности плоскопараллельных пластин [1, 2]. Такого рода задачи встречаются при изготовлении высококачественной оптики для современных интерферометров и лазерной техники, а также в метрологии при аттестации угловых и концевых мер. Для ряда объектов, у которых существует направление в пространстве, вдоль которого величина параметра остается постоянной, можно при формировании интерференционной картины создать две зоны интерферограмм: одну для отображения информация о величине параметра, а в другую для определения соответствия параметра норме. Примерами таких объектов являются клиновидные пластины, призмы, а также дифракционные решетки. Для выше отмеченных объектов при определенном положении эталонного и исследуемого объекта в плоскости формирования интерферограмм создаются зоны: в одной отображается информация о разности фаз световых волн, прошедших эталонный и исследуемый объекты, а в другой – о фазе световой волны, прошедшей исследуемый объект. Рассматривается реализация такого подхода объединения процедур измерения и контроля на примере клиновидных пластин. При практической реализации возможно использование двухлучевых интерферометров типа Маха-Цендера или Майкельсона. На рис. 1 схематически изображены положения эталонной M и исследуемой C клиновидных пластин в ветвях сравнения и объектной ветви интерферометра, при которых возможно создание двух вышеотмеченных зон. Для экспериментальной апробации данной методики использовался интерферометр Маха-Цендера. Эталонная M и исследуемая C пластины ориентировались следующим образом. Нормаль к поверхности пластин совпадала с осью z и c направлением распространения световых волн, а ребра клина эталонной и исследуемой пластин были параллельны оси x. Ребра клина также ориентировались так, что совпадали направления изменений фазы интерферирующих пучков вдоль оси y, вызванные прохождением через эталонную M и исследуемую C пластины, в плоскости формирования интерференционной картины.
Рис. 1. Положения эталонной (а) и исследуемой (б) клиновидных пластин в ветвях двухлучевого интерферометра На рис. 2 представлены результаты апробации данной методики при исследовании серии клиновидных пластин. В качестве эталонной пластины использовалась угловая мера 1°30'30''.  а  б
Рис. 2. Интерферограммы исследуемых пластин с различными отклонениями угла клина от нормы: соответствует (а) и не соответствует норме (б) Верхняя половина интерферограмм характеризует модуль отклонения угла клина тестируемой пластины от эталонной, а нижняя – позволяет количественно определить знак отклонения и величину угла клина тестируемой пластины. Список литературы 1. Буть А.И., Ляликов А.М. Повышение чувствительности измерений при формировании сдвиговых интерферограмм прозрачных пластин малой остаточной клиновидности. Квантовая электроника. 2011. Т.41. №10. С.934-938. 2. Буть А.И., Ляликов А.М. Снижение погрешности измерений угла клина прозрачных пластин в голографической интерферометрии реверсивного. Оптика и спектроскопия. 2012. Т.112. №6. С.1018-1023. жүктеу/скачать 25.25 Kb. Достарыңызбен бөлісу:
|
а