Ұзындықты өлшеудің оптикалық-механикалық

когеренттік 
шоқтарының 
интерференция 
құбылыстарын 
(интерференциондық микроскоптар, компараторлар) пайдалануға 
негізделген. 
Микроэлектроника мен аралас салаларда сызықтық жəне 
бұрыштық өлшеулер үшін кеңінен таралған аспаптар өлшеуіштік 
проекторлар мен өлшеуіштік микроскоптар болып табылады. 
Өлшеуіштік проекторлар бұйымның көлеңкелік суретін 
(контурды) экранға проекциялау үшін жəне олардың сызықтық 
жəне бұрыштық өлшемдерін сəйкес масштабта немесе бұйымның 
сызылған контурымен орындалған сызбамен көлеңкелік суретті 
тікелей салыстыру жолымен өлшеуге тағайындалған. Проекторлар
экрандардың бірнеше өлшемімен (250 x 250 бастап 600 х 700 мм 
дейін) шығарылады. 
Бұйым орнатылатын проектордың үстелі бойлық, көлденең 
бағыттарда жəне тігінен қозғалуы мүмкіндігіне ие. Үстелді 
жылжыту 0,01 ... 0,002 мм бөлу мөлшері бар тиісті шкала бойынша 
есептеледі. Проектор көмегімен ұзындықты өлшеу кезіндегі қателік 
±(0,003.0,005) мм аспайды. 
Қазіргі заманғы проекторлардың кейбір түрлері өлшеу үстелін 
жылжытудың сандық есептеу құрылғыларымен жабдықталған. 
Өлшеуіштік микроскоптар тікбұрышты немесе полярлық 
координат жүйесінде түрлі күрделі пішінді бөлшектердің ұзындығы 
мен бұрыштарын өлшеуге арналған. 
Микроскоптардың бірнеше түрі бар: кішкене аспаптық 
микроскоп, үлкен аспаптық микроскоп жəне əмбебап микроскоп. 
Құрылымдық 
айырмашылықтарға 
қарамастан, 
барлық 
микроскоптарда өлшеудің принциптік схемасы ортақ - бұл өзара 
перпендикуляр бағыттар бойынша осы үшін жылжытылған 
бөліктердің əртүрлі нүктелерін нысаналау жəне осы қозғалыстарды 
микрометриялық немесе басқа есептік құрылғылар көмегімен 
өлшеу. Жақсы нысаналауды қамтамасыз ету үшін микроскоптар 
ұлғайтудың əртүрлі деңгейіндегі ауыспалы объективтермен 
жабдықталады. 
Өлшеуіштік микроскоп негізден тұрады, онда координаталардың 
екі өзара перпендикуляр осьтерінің бойындағы, өлшенетін бұйымды 
бекітуге арналған үстелден жəне нысаналау микроскопының 
ұзындықтың екі шамасы бекітілген. 
Өлшенетін бұйым микроскоп үстелінде орнатылады. Санау 
нүктелері нысаналау микроскобының көрсеткіштері бойынша 
анықталады. Нысаналау кезінде микроскоптың осі бұйымдарға 
штрихтермен немесе олардың жиектерімен орналасады. Бұл үшін 
бұйымы бар үстелді немесе микроскоптың өзін бұйымға қатысты 
ауыстырады. Орын ауыстыру өлшенетін шамаға немесе 
қашықтыққа сəйкес келеді жəне үстелдің бастапқы жəне соңғы 
күйінің арасындағы айырмашылық ретінде анықталады. Жұмыстың 
қолайлығы үшін сандық есептеуіші жəне нөлдік көрсеткішінің 
сыртқы қондырғысы бар өлшеуіштік микроскоптар шығарылады. 
Бастапқы көрсеткішті 
134 

нөлден есептеу кезінде өлшеу нəтижесі бірден қайта санаусыз 
таблоға бекітіледі. 

жүктеу/скачать 4.38 Mb.

Достарыңызбен бөлісу: