Приложение Терминологический англо-русский словарь по мэмс и нэмс a ablation

A

 Absorption – абсорбция. Процесс поглощения вещества из смеси газов жидкостью. В отличие от адсорбции, абсорбция происходит во всём объёме поглотителя (абсорбента). Поглощаемое вещество – абсорбат. Примеры: абсорбент вода поглощает газы NH₃, HCl, H₂S, Cl₂ (абсорбаты).

 Accelerometer - акселерометр. Сенсорное устройство, которое измеряет ускорение или силу гравитации, способную сообщать (вызывать) ускорение. Акселерометр также используется как микродатчик для определения и измерения колебаний.

 Accelerated life testing – ускоренное испытание на отказ. Методология в теории надежности МЭМС и НЭМС. Микроизделие подвергается высокому уровню рабочих нагрузок и сильному воздействию окружающей среды, таких как высокая температура и напряжение. Применяется для ускорения появления отказа, который обычно проявляется на более поздних стадиях «жизни» микроизделия.

 Accuracy – точность (погрешность) измерений. Точность – характеристика измерения, отражающая степень близости его результатов к истинному значению измеряемой величины. Оценкой точности измерений может служить величина, обратная относительной погрешности измерений. Погрешность измерений (ошибка измерений) – отклонение результатов измерений от истинных значений измеряемой величины. Различают систематические и случайные погрешности измерений, а также промахи. Систематические обусловлены главным образом погрешностями средств измерений и несовершенством методов измерений. Случайные обусловлены неконтролируемыми изменениями окружающих условий. Промахи обусловлены неисправностью средств измерений.

 Acid - кислота, кислотная среда. Примеры: HF, HNO₃, H₂SO₄, H₃PO₄, CH₃COOH и др.

 Actuator - актюатор, микроисполнительное устройство, микродвигатель, микродвижитель. Некоторый возбуждающий механизм, который приводит в действие какое-либо устройство посредством преобразования одного вида энергии в другую (в механическую энергию). Различают актюаторы магнитные, пьезоэлектрические, электростатические, биметаллические и др.

 Acoustic electromotive force element - элемент акустоэлектрического силового двигателя. Преобразователь, который преобразует кинетическую энергию акустической волны в электрическую энергию. Иногда в литературе встречаются другие названия этого микроизделия: акустоэлектронный (акустоэлектрический) преобразователь (актюатор).

 Action potential – биопотенциал, потенциал действия. Потенциал передачи сигнала (биологического), потенциал сокращения (мускул), потенциал движения (мембраны). Это временное изменение электрического напряжения между стенками клеточной мембраны нерва или клетками мускула. Биопотенциал действия возникает, когда клетка стимулируется нервным импульсом. Биопотенциалы формируют механизм, по которому сенсорные и моторные функции (сигналы) передаются по нервной системе. Понятие используется в нанобиотехнологии.

 Active area – активная рабочая зона (слой). Область тонкого слоя кремния на пластине кремния, в которой находятся (сформированы) транзисторы и иные схемы.

 Active catheter - активный катетер. Катетер, который может передвигаться и достигать места назначения в ответ на полученные внешние сигналы управления. Катетер свободно изгибается и меняет направление движения за счёт встроенного в него микроактюатора. Катетер – это специальная трубка. Катетеризация – введение катетера в полость тела с диагностической или лечебной целями.

 Active layer – активный рабочий слой. Слой микроэлектронного устройства, в котором как электроны так и дырки являются активными. Например, в тонкопленочных транзисторах тонкая кремниевая пленка – это рабочий слой.

 Adenosine TriPhosphate (ATP) - аденозинтрифосфат, аденилпирофосфат. Соль C₁₀H₁₆N₅O₁₃P₃. Природное органическое соединение, состоящее из пуринового основания аденина, моносахарида, рибозы и трёх остатков фосфорной кислоты. Универсальный аккумулятор и переносчик энергии в живых клетках. Энергия освобождается при отщеплении одной или двух фосфатных групп и используется при биосинтезе различных веществ, при движении (в том числе мышечном сокращении) и в других процессах жизнедеятельности. Применяют в качестве лекарственного препарата при спазмах сосудов, мышечной дистрофии (доставка лекарств с помощью МЭМС- и НЭМС-роботов). Ведутся работы по применению в качестве источника энергии в нанобиосистемах.

 Adhesion - адгезия. Свойство (явление) слипания разнородных твердых материалов, соприкасающихся своими плоскостями. Высокая адгезия к Si у пленки термической двуокиси кремния SiO2. Пример относительно низкой адгезии к Si - у пленки молибдена, полученного пиролизом пентакарбонила молибдена. Из-за низкой адгезии наблюдается отслоение пленок от поверхности подложки.

 Adhesive bonding - технология соединения материалов посредством адгезионного «слипания», технология адгезионного соединения подложек. Эта технология использует промежуточный слой для скрепления подложек.

 Adjustment – настройка, корректировка. Действие, направленное на приведение измерительного микроустройства в состояние рабочего режима. Характеризуется отсутствием систематической ошибки при использовании измерительного устройства.

 Adsorption - адсорбция. Процесс поглощения вещества из растворов или газов на поверхности твердого тела или жидкости (адсорбента). То, что поглощается, называется адсорбатами. Пример: поглощение активированным углем или растворами некоторых солей (адсорбенты) определенных газов (адсорбаты).

 Aliasing – эффект наложения (одной частоты на другую). Процесс, при котором две или более частоты, кратные друг другу, не могут быть разделены (выделены друг относительно друга) при проведении процесса дискретизации в аналого-цифровом преобразователе.

 Aligner – система (установка) совмещения и экспонирования. Оптическая система в установке совмещения и экспонирования. Используется для перемещения шаблона (маски) или пластины с промежуточным изображением.

 Alignment – совмещение. Подгонка положения, ориентирование в плоскости. Размещение маски (шаблона) и пластины в строго определенном положении относительно друг друга. Проводится путем совмещения специальных меток верхнего слоя (на шаблоне) и нижнего слоя (на пластине). После подгонки положения (совмещения меток, а значит – совмещения рабочих рисунков слоёв схемы), светочувствительный фоторезист на пластине подвергается воздействию света, который проходит через прозрачные участки маски (шаблона).

 Alloy expansion actuator - актюатор расширения сплава. Микроисполнительное устройство (микродвижитель, микроактюатор), в котором в качестве движущей силы используется изменение объема сплава посредством сохранения газа/газовыделения. Когда пленка сплава гидрирована (гидрирование – соединение с водородом), сплав расширяется. Это происходит потому, что пространство между атомами металла увеличивается на порядок, что соответствует определенной концентрации окклюдированного (присоединенного) газа. Это явление может быть использовано для применения в актюаторах. Актюатор расширения сплава имеет следующие преимущества: простая конструкция, подходщая для миниатюризации, и свойство самосохранения состояния при выключении питания. Недостатки: слабый ответный сигнал и относительно маленькое смещение. Для компенсирования этих недостатков, используют дополнительный биморфный актюатор, который деформирует пленки сплава для увеличения смещения. Популярные материалы сплавов для гидрирования – LaNi₅ и TiFe. Кроме того, используются тонкие пленки, полученные вакуумным осаждением или технологией напыления, а также аморфные тонкие пленки, сформированные посредством охлаждения расплава.

 Aluminum – аллюминий, алюминиевая металлизация. Проводящий металл, используемый в микросхемах для соединения разных частей реализуемого микроустройства.

 Ambient – среда. Совокупность окружающих микроустройство условий. Например, состояние температуры, давления, влажности, наличие агрессивных газов и паров.

 Amorphous silicon (a-Si) - аморфный кремний. Кроме аморфного различают монокристаллический и поликристаллический кремний. Отличия – во внутренней структуре материала. Слои аморфного образуются при имплантации легирующих примесей в монокристаллический кремний. Имплантированные аморфные слои кремния перекристаллизуются до монокристаллического при последующих термических отжигах по механизму твердофазной эпитаксии.

 Amplification – амплификация. В биотехнологии это обработка, приводящая к увеличению числа копий ДНК. В электронике это процесс увеличения амплитуды электрического напряжения.

 Anchor – якорь. Место, где некоторая составная часть МЭМС-устройства прикрепляется к подложке для предотвращения её перемещения.

 Annealing - отжиг. Вид термической обработки, заключающийся в нагреве металла, сплава или стекла, выдержке при температуре нагрева и последующем медленном охлаждении для удаления внутренних напряжений, для получения менее хрупкого материала или изменения структуры исходного материала. Широко применяется в микротехнологии.

 Anisotropic etching - анизотропное травление. Обработка полупроводникового материала (кремния) травлением. При этом травление по различным кристаллографическим направлениям происходит с различной скоростью. Различают также анизотропное травление диэлектрической пленки под литографической маской. Это процесс травления с нулевым смещением. Обеспечивает формирование вертикального профиля края элемента, совпадающего с краем маски. В этом случае травление пленки в горизонтальном направлении под маску не происходит, рисунок переносится с идеальной точностью; это соответствует экстремальной ситуации идеально анизотропного травления.

 Anisotropy - анизотропия. Зависимость свойств среды (материала) от направления. Характерна для упругих, тепловых, оптических и других свойств материалов. Пример: анизотропия скорости роста эпитаксиальных слоёв кремния по разным кристаллографическим плоскостям приводит к смещению топологического рельефа скрытых слоёв.

 Anodic bonding - анодное соединение. Термоэлектродиффузионное сплавление, метод герметичного бесклеевого соединения стекла с кремнием. Кремниевая и стеклянная пластины в контакте нагреваются до 300-500 ⁰C, подается высокое напряжение, происходит миграция ионов стекла в поверхностный слой кремния и пластины соединяются очень прочной, фактически химической связью.

 Application-Specific Integrated Circuit (ASIC) – специализированная интегральная схема. Это схема, разработанная строго для конкретного применения. Например, чип, спроектированный исключительно для управления мобильным телефоном. Этот чип является специализированной интегральной схемой, в то время как микропроцессор не является специализированной интегральной схемой, поскольку его можно применять для разных целей. Хотя понятие «специализированная интегральная схема» относится как к аналоговым, так и цифровым устройствам, но обычно применяется для цифровых схем. Максимальная сложность и, следовательно, функциональность современных специализированных интегральных схем варьируется от 5000 вентилей и до 100 миллионов. Часто специализированные интегральные схемы имеют встроенный 32-битный процессор и иные большие стандартные блоки. Такую специализированную интегральную схему в технической литературе часто называют «системой на чипе». Проектировщики специализированных интегральных схем используют программные языки описания аппаратуры (HDL), такие как Verilog или VHDL, для описания функциональных возможностей схем.

 Aqueous – водный раствор какого-либо вещества.

 ARDE (Aspect Ratio Dependent Etching) – травление, зависящее от характеристического отношения. Так называют дефект, возникающий при сухом (плазменном) травлении. Дефект формируется из-за разницы в скорости плазменного травления вещества подложки вследствие разного микрорельефа поверхности этой подложки.

 Area array – поверхностная решетка. Компактная технология микросборки и герметизации чипа. Разработана в 90-х годах 20 века. По этой технологии выводы для припоя размещаются «по сетке» на поверхности чипа.

 Argon - аргон. Инертный газ. Обычно используется в системах охлаждения, системах разбавления реакционных газов или при создании нейтральной (безвоздушной, безкислородной) среды в химических реакторах. Пример: получение низкотемпературных пленок SiO₂ в атмосфере Ar пиролизом с использованием (SiH₄+O₂).

 Artificial organ - искусственный орган. Это микроустройство (оборудование), которое заменяет неправильно работающий человеческий орган и принимает на себя его функции временно или навсегда.

 Ashing – озоление. Метод удаления фоторезиста при помощи плазмы (плазмохимическое удаление фоторезиста).

 Aspect ratio – характеристическое отношение. Соотношение геометрических размеров микроструктуры. Cоотношение между структурной высотой и шириной. Например, высота микроструктуры 10 мкм, а ширина 2 мкм, характеристическое отношение 5:1 или 5. Высокое характеристическое отношение соответствует отношению выше 10.

   –(lateral) - поперечное. Отношение длины микроструктуры в плоскости пластины к ширине структуры в этой плоскости.

   –(vertical) - вертикальное. Отношение высоты микроструктуры по перпендикуляру к поверхности пластины к толщине структуры в плоскости пластины.

 Assembly - сборка, монтаж. Заключительная, очень важная, сложная и крайне ответственная за выходное качество микроустройств, стадия полупроводникового производства микросхем или МЭМС-изделий. В ходе сборки (монтажа) устройство (чип) заключается в пластмассовый, керамический, металлический или иной корпус. Существует также и бескорпусная сборка (монтаж).

 Astigmatic focus error detection - астигматическое определение отсутствия фокуса. Метод бесконтактного измерения смещения фокуса вдоль оптической оси в фотолитографии. Измерения осуществляются посредством определения степени искажения изображения точки, проецируемой астигматической оптической системой. Астигматизм – искажение изображения оптической системой. Искажение связано с тем, что преломление (или отражение) лучей в различных сечениях проходящего светового пучка неодинаково. Вследствие астигматизма изображение точки становится нерезким. Проецируемая точка изображается размытым эллипсом. Разработаны и эксплуатируются автоматические астигматические системы.

 Atomic Force Microscope (AFM) - атомно-силовой микроскоп. Тип сканирующего зондового микроскопа с микроскопическим сенсором силы в качестве зонда. Силовой сенсор – это гибкая микроконсоль с наконечником. Силовой сенсор проводит сканирование микроповерхности образца. Производя сканирование, атомно-силовой микроскоп записывает деформацию консоли. По степени деформации консоли можно измерять локальную высоту микрообъекта.

 Autonomous distributed control - автономное распределенное управление. Метод управления распределенными объектами. Заранее программируемое многофункциональное логическое управление. Позволяет без оперативного вмешательства извне (без воздействия командного пункта) организовать быстрое и автономное выполнение работы со стороны этих распределенных индивидуальных объектов (например, микророботов).