Техника высокого вакуума. Лабораторный практикум doc
Метод переменной проводимости
жүктеу/скачать 6.33 Mb. Pdf көрінісі
|
| Метод переменной проводимости
Метод переменной проводимости заключается в том, что насос 5 (рис. 3), обладающий быстротой действия S н , соединяется c откачиваемым объемом 2 через диафрагму 4, имеющую пропускную способность U. Рис. 3. Установка для градуировки вакуумметра методом переменной проводимости. При напуске в объем 2 натекателем 1 калиброванного потока газа Q можно определить давление Р 1 , воспользовавшись уравнением н н o S U S U S + × = . Записав быстроту откачки объема S о как отношение Q к Р 1 , получим: н н S U ) S U ( Q P × + × = 1 . (6) 111 Давление у входа в насос при этом будет равно Р 2 . Затем диафрагма 4 удаляется. Это приводит к понижении давления в объема 2 до уровня Р 2 , который можно оценить через поток и быстроту действия насоса н S Q P = 2 . (7) При выполнении условия U << S н и постоянной быстроте насоса в диапазоне изменения давления Р 1 –Р 2 получаем: н н S U S P U Q P P + × = = - 1 2 1 . (8) Таким образом, метод переменной проводимости позволяет расширить пределы градуировки вакуумметра до более низкого давления Р 2 , определяемого по формуле ÷÷ ø ö çç è æ + - = н н S U S P P 1 1 2 (9) при известной быстроте действия насоса и заранее рассчитанной пропускной способности диафрагмы. Важным требованием, предъявляемым к системам для градуировки вакуумметров, является требование низкой скорости газовыделения с поверхности стенок камеры. Поэтому весьма важно, чтобы и сама система и градуируемые вакуумметры допускали прогрев, по крайней мере, до 250 °С. Кроме того, желательно работать с ионизационными вакуумметрами в режиме низкого тока для уменьшения эффекта откачки. В идеальном случае вакуумметр должен градуироваться для каждого газа по отдельности, однако в действительности достаточно провести градуировку по какому-то одному газу, а затем воспользоваться известными коэффициентами относительных чувствительностей для остальных газов. Градуировка вакуумметров по азоту или по какому-либо инертному газу не вызывает осложнений, при этом может быть достигнута удовлетворительная точность. Активные газы, такие, как кислород или водород могут реагировать с материалами вакуумметра либо хемосорбироваться на стенках вакуумной системы, вызывая существенные отклонения в измерениях. К сожалению, эти газы довольно часто играют важную роль в сверхвысоковакуумных системах, так что даже если пользоваться 112 относительными чувствительностями, то в процессе измерений давления будут возникать рассмотренные выше проблемы. Поэтому достоверность определения давления активных остаточных газов всегда намного ниже, чем, например, азота. жүктеу/скачать 6.33 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|