ВМ–3  Бустерные  вакуумные насосы  5,1·10 –6  1·10 –4 8 - 14 при 50 °С  166  ВМ–4

ВМ–3 
Бустерные 
вакуумные насосы 
5,1·10
–6 
1·10
–4
8 - 14 при 50 °С 
166 
ВМ–4 
Роторные 
механические 
вакуумные насосы 
8·10
–3 
4·10
–5
48 - 57 при 50 °С 
105 
ВМ–6 
Роторные 
механические 
вакуумные насосы 
6·10
–3 
3·10
–6
40 при 50 °С 
157 
ВМ–1С 
Механические,
диффузионные
вакуумные насосы 
5·10
–3
5,1·10
–6 
4·10
–8
-2·10
–9
35 при 50 °С 
381 
ВМ–5С 
Механические,
диффузионные
вакуумные насосы 
4·10
–3 
5·10
–7
3·10
–9
45 при 50 °С 
386 
Синтетические рабочие жидкости 
Алкарен-
Д35М 
Роторные 
механические 
вакуумные насосы, 
агрессивные среды 
3·10
–3
- 
60 - 70 при 50 °С 
750 
ПАОМВАК 
Диффузионные
вакуумные насосы 
7,5·10ˉ
8
4,9·10ˉ
10
24,5 при 50 °С 
4500 
Алкарен–
Д24С 
Диффузионные,
бустерные
вакуумные насосы. 
Нет потребности в 
азотной ловушке 
(4 – 6)
·
10ˉ
7 
18,5 при 50 °С 
9000 
Кремнийорганические рабочие жидкости 
OI 808 (аналог 
ПФМС2/5л) 
Диффузионные 
вакуумные насосы 
4
·
10
-6 
5·10
-9
-7·10
-7
 
8600 
ФM-1  
Диффузионные 
вакуумные насосы
Нет потребности в 
азотной ловушке 
8·10
-9 
1·10ˉ
10
250-350 при 20 °С 
32000 
Эфирные рабочие жидкости 
Полифениловый 
эфир 5Ф4Э
Диффузионные
вакуумные насосы 
Нет потребности в 
азотной ловушке 
7
·
10
-9
10
-11
 
116-130 при 50 °С 
27600 
Полифениловый 
эфир 
Н-ПФЭ  
Диффузионные
вакуумные насосы 
Нет потребности в 
азотной ловушке 
5
·
10
-9
120 при 50 °С 
32000 

141 
Обозначения вакуумных насосов 
Элемент вакуумной 
системы 
Графическое 
обозначение 
Элемент вакуумной 
системы 
Графическое 
обозначение 
Элемент вакуумной 
системы 
Графическое 
обозначение 
Насос вакуумный 
механический.
Общее обозначение 
Водокольцевой 
Испарительно-
геттерный 
Примечание: вместо знака «×» 
указывают химическую 
формулу сорбента 
Вращательный 
объемный: 
а) одноступенчатый 
Насосы вакуумные 
струйные.
Общее обозначение 
Криосорбционный 
Примечание: вместо знака «×» 
указывают химическую 
формулу сорбента
б) двухступенчатый 
Эжекторный 
Примечание: вместо знака 
«×» указывают тип рабочей 
жидкости (вода, масло, 
ртуть). 
Криогенный 
в) газобалластный 
Диффузионный 
Примечание: вместо знака 
«×» указывают тип рабочей 
жидкости (масло, ртуть) 
Испарительно-ионный 
Турбомолекулярный 
Насосы вакуумные 
сорбционные.
Общее обозначение 
Магнитный 
электроразрядный 
Двухроторный
(насос Рутса) 
Адсорбционные 
Комбинированный 
Примечание: выходной патрубок насосов, сообщающийся с атмосферой, может не отображаться на условном обозначении 
14
0 

142 
Обозначения вакуумметров и других приборов 
Элемент вакуумной системы 
Графическое обозначение 
Вакуумметр. Общее обозначение 
Вакуумметр ионизационный с горячим 
катодом 
Вакуумметр магнитный 
электроразрядный с холодным катодом 
(вакуумметр Пеннинга) 
Вакуумметр теплоэлектрический 
(термопарный, сопротивления) 
Вакуумметр U-образный, поршневой 
Вакуумметр компрессионный
(Мак-Леода) 
Вакуумметр мембранный 
(деформационный) 
Течеискатель 
Масс-спектрометр 
Обозначения вакуумной арматуры 
Элемент вакуумной системы 
Графическое обозначение 
Вентиль (кран) проходной
Вентиль (кран) угловой 
Натекатель
(вентиль регулирующий, дозирующий)

143 
 
ОГЛАВЛЕНИЕ 
ВВЕДЕНИЕ...............................................................................................3
 
Работа 1. Ознакомление с вакуумными установками, методикой и 
приемами работы ....................................................................6
 
Работа 2. Испытание механического насоса ......................................20
 
Работа 3. Испытание пароструйного диффузионного насоса ..........41
 
Работа 4. Техника течеискания............................................................53
 
Работа 5. Электрофизические средства откачки................................70
 
Работа 6. Исследование процессов газовыделения из материалов ..88
 
Работа 7. Исследование теплопередачи в газах .................................98
 
Работа 8. Градуировка вакуумметров...............................................108
 
Список литературы...............................................................................121
 
Справочный раздел ..............................................................................122
 
Приложение 1 .......................................................................................123
 
2.1. Вакуумметр термопарный ВТ-2А .............................................123
 
2.2. Вакуумметр ВИТ-1А или ВИТ-1А-П .......................................127
 
2.3. Вакуумметр ионизационно-термопарный типа ВИТ-2...........132
 
2.4. Вакуумметр ионизационно-термопарный типа ВИТ-3...........136
 
Приложение 2 .......................................................................................140
 

144 
Учебное издание 
Холодкова Наталия Витальевна 
Холодков Игорь Владимирович 
ТЕХНИКА ВЫСОКОГО ВАКУУМА 
Лабораторный практикум 
Редактор Г.В. Куликова 
Подписано в печать 7.02.2014. Формат 60×84 
1
/
16
. Бумага писчая. 
Усл. печ. л. 8,37 . Уч.-изд. л. 9,20 . Тираж 75 экз. Заказ 
ФГБОУ ВПО Ивановский государственный
химико-технологический университет 
Отпечатано на полиграфическом оборудовании
кафедры экономики и финансов ФГБОУ ВПО «ИГХТУ» 
153000, г. Иваново, Шереметевский пр., 7