Оборудование, закупленное для мфти в 2009 г по мероприятию 5 Федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 гг

– Цифровая обработка спектра сигналов с помощью цифрового люминофора DPXR или аналог

– Скорость обработки спектров – > 48828 спектров в секунду

– Обработка трассировки – развертка с цветовой градацией, +пик, ­пик, среднее значение

– Минимальная длительность сигнала для 100% вероятности обнаружения (при включенном режиме удержания максимума) – 24 мкс (Опция 110)

– Диапазон полосы обзора – от 100 Гц до 110 МГц (Опция 110)

– Точность разрешения полосы пропускания – 7%

– Динамический диапазон неискажаемого сигнала (SFDR) – 73 дБ при всех полосах захвата вплоть до 110 МГц (Опция 110)

– Исходная точность установки средней частоты – в пределах 10^­7 после 10­минутного прогрева

– Разрешение установки средней частоты – 0,1 Гц

– Точность считывания маркера частоты – ± (RExMF + 0,001xпромежутка + 2) Гц, RE - погрешность опорной частоты, MF - частота маркера (Гц)

– Точность полосы обзора – ±0,3% (в автоматическом режиме)

– Эталонный уровень выхода – > 0 дБм (выбран внутренний эталон)

– Эталонный уровень выхода (проходной вход) – 0 дБ номинальный коэффициент усиления от Ext Ref In (вход внешнего эталона) до Ref Output (эталонный выход) +15 дБм максимальное выходное значение

– Входные частоты внешнего эталона – от 1 до 25 МГц (с шагом 1 МГц) + 1,2288 МГц, 4,8 МГц и 19,6608 МГц

– Диапазон разрешения полосы пропускания (анализ спектра) – от 1Гц до 5 МГц (1,2,3,5 последовательно, автоматическое сочетание) или выбирается пользователем (произвольный)

– Форма полосы разрешения – от 1 Гц до 5 МГц, гауссово приближение, форм­фактор 4,1:1 (60:3 дБ) ±10%, типичное значение

– Точность полосы разрешения – от 1 Гц до 5 МГц ±1% (режим автоматического сочетания RBW (разрешения полосы пропускания))

Система синхронизации по частотной маске (Опция 02):

– Форма маски – определяется пользователем

– Горизонтальное разрешение точек маски – <0,2% полосы обзора

– Диапазон уровня – от 0 дБ до ­80 дБ отопорного уровня

– Диапазон полосы обзора – от 100 Гц до 110 МГц (Опция 02 + Опция 110)

– Минимальная длительность события для 100% срабатывания системы запуска –(при максимальной полосе захвата) – 10,3 мкс (Опция 02 + Опция 110)

– Погрешность положения точки запуска полосаобзора = 110 МГц: ±5,12 мкс (Опция 02 + Опция 110)

Расширенный набор измерений (Опция 20):

Измерения – средняя мощность, пиковая мощность, средняя передаваемая мощность, ширина импульса, время нарастания, время спада, период повторения (с), частота повторения (Гц), коэффициент заполнения (%), коэффициент заполнения (отношение), пульсации, спад, отклонение частоты следования импульсов, отклонение фазы импульсов, среднеквадратичная ошибка частоты, максимальная ошибка частоты, среднеквадратичная ошибка фазы, максимальная ошибка фазы, девиация частоты, девиация фазы, метки времени

– Минимальная длительность импульса для обнаружения – 50 нс (Опция 110)

– Число импульсов – от 1 до 10000

– Системное время нарастания (типичное значение) – <10 нс (Опция 110)

– Точность измерения импульсов –Условия сигнала: пока не установлено другое, длительность 150 нс (Опция 110), отношение сигнал/шум ≥30 дБ, коэффициент заполнения от 0,5 до 0,001, температура от 18°C до 28°C

Анализ основных видов цифровой модуляции (Опция 21):

Амплитуда вектора ошибки EVM (среднеквадратичное и пиковое значение, EVM во времени), погрешность амплитуды (среднеквадратичное и пиковое значение, значение погрешности амплитуды во времени), погрешность фазы (среднеквадратичное и пиковое значение, погрешность фазы во времени), смещение источника, погрешность частоты, дисбаланс коэффициента усиления, квадратурная ошибка, качество формы волны Rho, констелляционная диаграмма, таблица символов

Цифровая демодуляция (Опция 21):

Констелляционная диаграмма EVM относительно времени

Таблица символов (двоичная или шестнадцатеричная)

Ошибка амплитуды и фазы относительно времени и качества сигнала

Габаритные размеры 282х473х531 мм

Вес – 26,5 кг

Гарантия – 1 год

– 4 аналоговых канала

– Аналоговая полоса пропускания на каждый канал - 200 МГц

– Частота дискретизации на каждый канал - 1 ГГц

– Расчетное время нарастания фронта 2,1 нс

– Максимальная длина записи 1 миллионов точек на каждый канал

– Максимальная скорость захвата до 5 000 осциллограмм в секунду

– Аппаратное ограничение полосы - 20 МГц

– Режимы входов - AC, DC, GND

– Входной импеданс 1 МОм ±2 %

– Диапазон чувствительности - от 2 мВ/дел до 5 В/дел

– Вертикальное разрешение 8 бит

– Максимальное входное напряжение - 300 Вср. кв. с пиками ≤ ±400 B

– Точность по вертикали ±4 % при смещении 0 В для чувствительности от 2 мВ/дел до 5 В/дел

– Горизонтальная развертка – от 2 нс/дел до 100 с/дел

– Диапазон задержки развертки от -10 дел до 5000с

– Диапазон сдвига между каналами – ± 100 нс

– Точность горизонтальной развертки ±25x10–6

– 29 автоматических измерений, курсорные измерения, БПФ

– Захват глитчей длительностью от 3,5 нс на всех режимах развертки

– Перестраиваемый фильтр нижних частот FilterVu (или аналог) обеспечивает блокирование нежелательного шума с сохранением отображения высокочастотных событий
Технические характеристики цифровых каналов:

– 16 цифровых каналов (от D015-D0)

– Пороговые напряжения – общая настройка для группы из 8 каналов

– Диапазон пороговых напряжений – ± 20 В

– Максимальное входное напряжение ± 40 В

– Погрешность установки порогового напряжения ±(100 мВ + 3% от значения порога)

– Максимальный динамический диапазон входного сигнала 80 В (ампл.)

– Максимальный размах напряжения – 300 мВ (ампл.)

– Входное сопротивление – 101 кОм

– Входная емкость пробника – 8 пФ

– Разрешение по вертикале – 1 бит

– Максимальная частота дискретизации (при использовании любого из каналов D7-D0) – 1 ГГвыб/с (разрешение 1 нс)

– Максимальная частота дискретизации (при использовании любого из каналов D15-D8) – 500 Мвыб/с (разрешение 2 нс)

– Максимальная длина памяти (основной режим) – 1 млн. точек

– Минимальная длительность импульса – 5 нс

– Сдвиг каналов – 2 нс (ном.)

• поиск с масштабированием и прокруткой по записи,

• совмещенные ручки прокрутки и масштабирования с изменяющейся в зависимости угла поворота ручки WaveInspector скорости прокрутки буфера на экране осциллографа

• Автоматический поиск событий записи по критериям пользователя,

• Автоматическая и ручная расстановка маркеров в разных участках записи

• Копирование условий поиска в условия запуска и наоборот

– Поддержка интерактивного программного обеспечения NI SignalExpress TE, OpenChoice® для расширенного анализа и обработки полученных данных.

– Интерфейс пробников должен быть совместим с TekVPI®

–USB host на передней панели для сохранения экранов осциллографа, USB device на задней панели с технологий USBTMC для подключения осциллографа к ПК или печать на принтеры, совместимые с технологией PictBridge®

– Цветной широкоэкранный 7 дюймов (180 мм) WQVGA-дисплей с разрешением 480х234

– Питание от 100…240 В, 47…440 Гц, 80 Вт максимум

– Габаритные размеры 180х377х134 мм

– Вес 3.6 кг

– Гарантия: 3 года

– 4 аналоговых канала

– Аналоговая полоса пропускания на каждый канал - 1 ГГц

– Частота дискретизации на каждый канал - 5 ГГц

– Расчетное время нарастания 5 мВ/дел. (типовое значение) – 350 пс

– Максимальная длина записи 10 миллионов точек на каждый канал

– Максимальная скорость захвата до 50 000 осциллограмм в секунду

– Аппаратное ограничение полосы - 250 МГц или 20 МГц

– Режимы входов - AC, DC, GND

– Входной импеданс 1 МОм ±1 %, 50 Ом ±1 %

– Входная чувствительность:

- 1 МОм: от 1 мВ/дел до 10 В/дел

- 50 Ом: от 1 мВ/дел до 1 В/дел

– Вертикальное разрешение 8 бит (11 бит при высоком разрешении)

– Максимальное входное напряжение (1 МОм): 250 Вср. кв. с пиками ≤ ±400 B

– Точность по вертикали ±1,5 % при смещении 0 В

– Горизонтальная развертка: от 400 пс/дел до 1000 с/дел

– Точность горизонтальной развертки 5x10^–6 в любом интервале более 1 мс.

– 25 автоматических измерений, курсорные измерения, БПФ

– Задержка запуска по времени от 4 нс до 8 с

– Задержка запуска по событиям – от 1 до 9 999 999 событий
Технические характеристики цифровых каналов:

– 16 цифровых каналов

– Пороговые напряжения – настраиваются индивидуально для каждого канала в отдельности

– Диапазон пороговых напряжений – задается пользователем от + 5 до – 2 В

– Максимальное входное напряжение ± 15 В

– Погрешность установки порогового напряжения ±(100 мВ + 3% от значения порога)

– Входное сопротивление – 20 кОм

– Фазовый сдвиг между каналами – 1 нс (типичное значение)

– Входная емкость пробника – 3 пФ

– Разрешение по вертикале – 1 бит

– Максимальная частота дискретизации (основной режим) – 500 Мвыб/с

– Максимальная длина памяти (основной режим) – 10 млн. точек

– Максимальная частота дискретизации (режим MagniVu) – 16,5 Гвыб/с

– Максимальная длина памяти (режим MagniVu) – 10 000 точек с центром в точке запуска

– Максимальная длительность обнаружаемых импульсов – 1,5 нс
– Система поиска и навигации в длинной памяти Wave Inspector® (или аналог), должна обеспечивать:

• поиск с масштабированием и прокруткой по записи,

• совмещенные ручки прокрутки и масштабирования с изменяющейся в зависимости угла поворота ручки WaveInspector скорости прокрутки буфера на экране осциллографа

• Автоматический поиск событий записи по критериям пользователя,

• Автоматическая и ручная расстановка маркеров в разных участках записи

• Копирование условий поиска в условия запуска и наоборот

– Поддержка интерактивного программного обеспечения NI SignalExpress TE, OpenChoice® для расширенного анализа и обработки полученных данных.

– Интерфейс пробников должен быть совместим с TekVPI®

– cлот СompactFlash, встроенный порт Ethernet (10BaseT RJ-45), USB host на передней панели для сохранения экранов осциллографа, USB device на задней панели с технологий USBTMC для подключения осциллографа к ПК, выход синхроимпульса, XGA-порт для подключения осциллографа с проектору.

– Цветной широкоэкранный 10,4 дюйма (264 мм) XGA-дисплей с разрешением 1024х768

– замок "Kensington"

– Питание от 100…240 В, 47…440 Гц, 250 Вт максимум

– Габаритные размеры 229х439х137 мм

– Вес 5 кг

– Гарантия: 3 года

Керамических подложек

Толстопленочных компонентов

Стекла

Пьезоэлектрических компонентов

ПАВ-фильтров

МЭМС

Разделения групповых заготовок (BGA, QFN, LTCC)

Оптоэлектронных компонентов

Полупроводниковых пластин

и др.

Размеры обрабатываемых подложек/пластин: до 200мм х 200мм/до Ø200мм (опционально до Ø300мм)

2"-3" – модели Vectus, ProVectus

4"-5" – модели Fortis, ProFortis

Точность по оси индексирования (Y):

Привод: Подающий винт с шарикоподшипником с шаговым двигателем

Управление: Линейный датчик положения

Разрешение: 0.2 мкм

Суммарная точность: 1.5 мкм

Точность позиционирования: 1.0 мкм

Точность по оси глубины резки (Z):

Приводной: Подающий винт с шарикоподшипником с шаговым двигателем

Разрешение: 0.2 мкм

Точность: 2 мкм

Воспроизводимость: 1 мкм

Ход: 50 мм

Ось подачи (X):

Привод: Подающий винт с шарикоподшипником с бесщеточным электромотором постоянного тока

Скорость подачи: до 350 мм/сек

Ось вращения столика (θ):

Приводной механизм: шаговый двигатель (Vectus, Fortis); бесщеточный, на постоянном токе, прямой, с обратной связью (ProVectus, ProFortis)

Точность поворота: 4"

Воспроизводимость: 6"(Vectus, Fortis); 4"(ProVectus, ProFortis)

Ход: 170о(Vectus, Fortis); 350о(ProVectus, ProFortis)

Система технического зрения:

Цифровая камера, технология "Fire-Wire", яркая светодиодная подсветка (вертикальная и наклонная), плавное цифровое видео масштабирование от х70 до х280 или от х35 до х140 (опция)

Разрешение (Z): лучше 0,2 нм

Воспроизводимость (Z) RMA: 0,05 нм

Нелинейность (Z): 0,1 %

Оптическое разрешение (X, Y): не хуже 0,6 мкм

Коэффициент отражения: 0,5-100%

Диапазон позиционирования по XY: до 150 мм.

Перемещение - дифференциальными микрометрами

Вращение маски до ±15°

Размер маски до 6"

Диапазон перемещений:

X,Y не менее ±6мм (инкремент не хуже 0,25 мкм)

Z не менее 1000 мкм

Боковое отклонение по X-Y не более 0,1 мкм

Размер подложек от 5 мм до 150 мм

Режимы экспонирования: жесткий, мягкий, вакуумный контакт, микрозазор

Длина волны источника УФ не более 400 нм.

Разрешение: при вакуумном контакте лучше 1 мкм

при микрозазоре лучше 5 мкм

Мощность источника УФ не менее 350Вт.

Питание 380 В, 50 Гц

Установка включает в себя:

- Система распыления;

- Ионный источник с компенсатором ионного заряда;

- Механизм сменных мишеней (6 позиций);

- Система ионной полировки;

- Регулируемый ионный источник типа Кауфман 5 см;

- Оптический контроль Спектральный с поддиапазонами

380-720, 720-1100, 1100-1700 нм, одноволновой с диапазоном 1-5,0 мкм;

- Рабочая камера с загрузочной шлюзом высотой 400 мм, внутренний диаметр 600 мм;

Высоковакуумная система: криогенный насос, предельный вакуум в камере не хуже 10^-5 Па;

- Прибор контроля высокого вакуума, форвакуума;

- Система форвакуумная (Сухой форвакуумный насос, скорость откачки 16 л/с, обеспечение предельного вакуума 1 Па, уровень шума 65 dB);

- Система газонапуска (количество каналов 4, натекание атмосферы в газовые магистрали 2 х10^-9 Па•м3/с);

- Блоки питания

- Система охлаждения (охлаждение двухконтурное водяное, расход воды 1,2 м3/час, давление 3 атм, максимальный теплосъем – до 12 кВт, теплоноситель внутреннего контура – дистиллированная вода, внешнего контура – водопроводная или оборотная техническая вода).

1. 
   Нанесение тонкопленочных оптических и функциональных покрытий.
   
2. 
   Подготовка и обработка подложек методом ионного полирования.
   
3. 
   Оптический контроль наносимых слоев покрытия
   
4. 
   Автоматическое выполнение всего технологического цикла нанесения покрытия.
   
5. 
   Автоматическое завершение нанесения покрытия по результатам оптического контроля.
   

Оптическая схема: “Czerny Turner”, в cпектрометре используется запатентованная технология для смены решеток:

"Snap-In".

Расположение щелей:

Аксиальное и боковое.

f / No.: 14.1.

Размер решеток:

120 x 140-мм,

для решеток “Echelle” ширина до 220-мм.

Точность длины волны:

+/-0.05 нм (для решетки 1200 штр./мм).

Воспроизводимость длины волны:

+/- 0.005 нм (для решетки 1200 штр./мм).

Положение фокальной плоскости:

максимальное расстояние 50 мм.
Диапазон длин волн:

полный диапазон длин волн, обеспечиваемый монохроматором – 185 нм - 78 мкм и в конкретной конфигурации определяется установленной решеткой.

1) Высокоточный синусный механизм настройки длины волны,

2) Оптические поверхности, обработанные с точностью, не хуже 1/8 длины волны в диапазоне от УФ до ИК и Al+MgF2 покрытием.

3) Технология смены решеток “SNAP IN”.

4) Возможность установки решеток 110*110 мм и 120*140 мм, а также эшелет (“Echelle”).

5) Щели регулируемые прецизионным микрометром и управляемые от компьютера с регулировкой высоты щели 2 - 20 мм. Все щели имеют управляемую заслонку.

6) Патентованная технология удвоения дисперсии.

7) Входная призменная дисперсионная система.

8) Температурная стабилизация.

9) Система управления монохроматором.

10) Переходники для крепления фотоприемников и ОМА.
2. Комплект дифракционных решеток 120*140 мм с технологией их смены“SNAP IN”:

1) 8358-1020-0 1200 штр./мм, угол блеска 250 нм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

2) 8358-1008-0 1200 штр./мм, угол блеска 500 нм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

3) 8358-1009-0 1200 штр./мм, угол блеска 750 нм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

4) 8358-1024-0 1200 штр./мм, угол блеска 1.2 мкм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

5) 8358-1029-0 600 штр./мм, угол блеска 750 нм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

6) 8358-1031-0 600 штр./мм, угол блеска 1.6 мкм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

7) 1006-0 300 штр./мм, угол блеска 3 мкм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

8) 8358-1011-0 300 штр./мм, угол блеска 4 мкм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм);

9) 8358-1048-0 75 штр./мм, угол блеска 12 мкм, покрытие Al+MgF2 (120*140 мм).

Исследование спектров излучения оптических материалов в УФ, видимом и ИК диапазоне:

- спектральные свойства новых лазерных сред, в том числе широкополосных;

- Рамановская и КР спектроскопия;

- спектры излучения NV - центров и наноструктурированных материалов;

- эффекты фазового контроля в бихроматических полях;

- однофотонные источники излучения.

Размер матрицы:

1340 x 400, размер пикселя: 20 x 20 мкм (светочувствительная область: 26.8 мм x 8 мм)

Покрытие: ”Lumogen UV”

Охлаждение: элемент Пельтье (-75 С)

Выходные данные:

Двойная скорость чтения, 16 бит, 2 МГц и 100 кГц.

Интерфейс: USB 2.0

Управляемая заслонка

Комплект программ для работы в реальном времени под Microsoft Windows 2000/XP/Vista (32-bit).

Темновой ток (-75 C, e/p/s): тип.: 0.0025, max: 0.005.

Уровень шума:

3 e-rms (при 100 кГц),

12 e-rms (при 2 МГц).

Скорость снятия спектра:

58 спектр./сек (при 100 кГц)

260 спектр./сек (при 2 МГц)

700 спектр./сек (при 2 МГц, и высоте 1 мм ).

Нелинейность:

<1% (при 100 кГц),

<2% (при 2 МГц).

Динамический диапазон:

16 бит.

Матрица изготовлена:

Точность термостатирования:

±0.05°C.

Спектральный диапазон:

200 нм-1100 нм.

- InGaAS 1024 PDA;

-1024 x 1 пиксель;

- размер 25 x 500 мкм;

- размер чувствительной

области: 25.6 x 0.5 мм.

Охлаждение: жидкий азот, сосуд Дьюара 1.7 л.

Выходные данные:

Двойная скорость чтения 1 МГц, 16 бит, АЦП 16 бит, 1 МГц.

Интерфейс: USB 2.0. Комплект программ для работы в реальном времени под Microsoft Windows 2000/XP/Vista (32-bit).

Начальное время захолаживания: ~90 мин при 10 K

Время захолаживания при работе криостата (от 300 K до 10 K): 30 мин

Холодопроизводительность: ~2 Вт @ 20 K

Вес системы: около 75 кг

Вес криостата: около 9 кг

Оптический доступ: f 1.0

Конструкция:

оптический вакуумный корпус и радиационный экран (f 1.0);

четыре кварцевых окна d=41.4 мм;p

позолоченный оптический держатель образца из безкислородной отожженой меди;

управляющий нагреватель 25 Ом;

кремниевый температурный датчик;

10-пиновый вакуумный разъем, на который разведены датчик и нагреватель, совместим с разъемом термоконтроллера;

три установочных места под вакуумные вводы различных типов;

откачной вакуумный клапан и предохранительный сбросной клапан;

компрессор 8200 с газовыми линиями 3 метра и кабелем питания криорефрижератора.
Комплектация:

1) Криостат с кварцевыми окнами, гелиевый компрессор, гелиевые трубопроводы, соединительный кабель. Гелиевый компрессор с водяным охлаждением.

2) Контроллер температуры 325

3) Автоматический вакуумный пост в полной комплектации:

TSH 071E Economy Pumping Station, pumping speed 60 l/sec, inlet flange DN 63 ISO-K. Station includes MVP 015-2, TPS and DCU 001. Please note: Please order power cable separately.

TVF 005 Vent Valve, 24 VDC (includes connection cable).

PKR 251 Compact FullRange Pirani/Cold Cathode Gauge. Measurement range 1000 to 5x10-9 mbar. DN 25 ISO-KF connection flange. Requires 15 to 30 VDC power input. Linear 0-10 VDC analog output includes overrange, underrange, sensor ID and sensor error indication. FPM sealed. 150°C bakeout temperature.

Measurement cable, Compact Gauge/TPG, 3 m

Measurement cable, Compact Gauge/TPG, 3 m.

Plug for all compact gauges.

ISO-KF трубный адаптер, фланцы ISO63/KF25, материал: нерж.сталь.

Гибкий сильфонный шланг толстостенный, длина 1000 мм, фланец KF25, материал: нерж.сталь.

Тройник, фланец KF25, материал: нерж.сталь.

Центрирующее кольцо с витоновым уплотнением KF25, нержавеющая сталь 304.

Центрирующее кольцо ISO63, с уплотняющим кольцом, нержавеющая сталь 304.

Хомут быстросъемный, фланец KF25, материал- алюминий.

8mm Voltage Output Type PMT Module (300-900nm).

2) Фотодиодный приемный модуль: Photodiode Recvr Mod, InGaAs(800-1600nm), 3.0mm, TE Cooled;

Фотодиодный приемный модуль: Photodiode Recvr Mod, Si(300-1000nm), 11.0mm, TE Cooled.

3) Синхронный усилитель

Длина волны : 532.8 нм, 50 мВт.