Лабораторная работа №6 Получение высокого вакуума и анализ состава остаточных газов

                                                         

                         

Лабораторная работа №6

           Получение высокого вакуума и анализ 

           состава остаточных газов 

                                        ОГЛАВЛЕНИЕ

      Введение       

………………………………………………………………………………………….……....…

2

1.   Общие сведения о вакууме и вакуумных насосах

..................................

2

1.1.Вакуум

............................................................................................................

2

1.2. Вакуумные насосы

...................................................................................

4

1.2.1. Насосы среднего вакуума............................................4

1.2.2. Высоковакуумные насосы...........................................8

1.2.3. Сверхвысоковакуумные насосы.................................10

2.        Измерение вакуума.........................................................................12

3.         Масс-анализаторы ……………………………………………… 14

4.

Ионизатор остаточных газов в масс спектрометре XT300M… 17

5.

Об идентификации масс-спектров остаточных газов …………19

6.

Задания ……………………………………………………………21

7.

Порядок выполнения работы.........................................................21

8.       Требования к отчету …..................................................................24

9.          Контрольные вопросы...................................................................25

10.       Дополнительная литература..........................................................25

      Приложение 1. Определение скорости откачки насоса..............25