63
Рис. 4. Масс-спектрометрическая камера течеискателя:
1 –
коллектор ионов;
2 – выходная щель;
3 – траектория остаточных газов;
4 –
траектория ионов
гелия;
5,
10 – фланец;
6 – камера магнитного анализатора;
7 – входная щель;
8 – камера ионизации;
9 – катод;
11 – источник питания;
12 – блок измерения
ионного тока;
13 – электрометрический каскад.
Цель данной работы – ознакомление с
методами течеискания,
работы с течеискателями и определение мест натекания в вакуумных
системах.
Варианты выполнения работы
1. Определение
мест
натекания
методами
тлеющего
и
высокочастотного разряда.
2. Определение мест натекания с помощью галоидного течеискателя
ГТИ-6.
3. Определение мест натекания с помощью передвижного гелиевого
течеискателя ПТИ-10.
Определение мест натекания методами тлеющего и
высокочастотного разряда
В ходе работы необходимо проверить исследуемую вакуумную
систему на герметичность, выполнив следующие действия:
1.
Определить предельное давление, создаваемое вакуумным
насосом при работе с отсеченной системой.
64
2. Соединить исследуемую вакуумную систему с насосом и
определить
предельное давление, которое можно получить на
данной установке, получив кривую откачки.
3. Снять кривую натекания в отсеченной вакуумной системе.
Далее необходимо с помощью метода тлеющего разряда,
используя в качестве
пробной жидкости ацетон, и методом
высокочастотного разряда уточнить места натекания в системе.
Достарыңызбен бөлісу: 
