Қазақстан Республикасы Еңбек және халықты
§ 12. ВАКУУМДЫ-ТОЗАҢДАТУ ПРОЦЕСТЕРІНІҢ ОПЕРАТОРЫ
жүктеу/скачать 2.38 Mb.
|
| § 12. ВАКУУМДЫ-ТОЗАҢДАТУ ПРОЦЕСТЕРІНІҢ ОПЕРАТОРЫ
5-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Технологиялық құжаттамада көрсетілген шектердің шеңберінде оңтайлы режимдерді таңдай отырып субмикронды мөлшерлі немесе жоғарылатылған дәрежелі бұйымдар үшін бірқабатты және көпқабатты пленкалы микроқұрылымдарды түрлі тәсілдермен (термиялық буландыру, катодты тозаңдату, электронды-сәулелі және магнетронды тозаңдату) тозаңдату. Бағдарламалық басқару құрылғыларына қызмет көрсету. Процесс режимдерін қадағалау. Пленкаларды тұндыру режимдерін тіркеу және қолдау мақсатында өлшегіш аппаратпен жұмыс істеу. Эталон бойынша ағартатын пленкалардың сапасын салыстырмалы бақылау. Білуге тиіс: электр және вакуум тәсімдер, вакуумды тозаңдату құрылғыларының түрлі үлгілерін дәлдікке тексеру тәсілдері; қызмет көрсетілетін жабдықтың құрылымын; металл, резисті пленкаларды алуға арналған жабдық жұмысы режимдерін айқындау ережесі; бақылау-өлшеу құралдары мен аспаптарын теңшеу және реттеу ережесі; жартылай өткізгіш-металл, металл-металдардың өзара іс-қимылдарының электр физикалық негіздері; электр техникасы мен вакуум техникасының жұмыс тәртібі. Кәсіптік орта білім қажет етіледі. Жұмыс үлгілері 1. Видикондарға арналған дискілер – екі, үшқабатты тозаңдату. 2. 1\4 оптикалық қалыңдықтағы К-8 шынысынан жасалған линза бірқабат МgFе2 келтіру (ағарту). 3. МДП- құрылымдар - молибденді жапқыш әзірлеу. 4. С ч Аs пластиналар - Сr қабатты Аg тозаңдату. 5. Шыны пластиналар – жасыратын, кварцты қабаттар тозаңдатып қондыру. 6. Жартылай өткізгішті пластиналар (диодты матрицалар, СВЧ - транзисторлар, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитрондар) - түрлі тәсілдермен бір немесе екіқабатты тозаңдатып қондыру. 7. Полистирольді немесе стирофлексті пленка, конденсатор қағаз - вакуум құрылғыда түрлі металлдарды тозаңдатып қондыру. 8. Жартылай өткізгішті пленкалар және байланыс алаңшалары - германийдің, кремний, галлий арсенидінің монокристалды жиектері. 9. Кварц жиектер - 1\4 оптикалық қалыңдыққа тең 15 қабатты қондыру ( көрсету коэффициенті 99% айна). 10. Квант аспаптар – жеті, он бір қабатты айналарды тозаңдатып қондыру. § 13. ВАКУУМДЫ-ТОЗАҢДАТУ ПРОЦЕСТЕРІНІҢ ОПЕРАТОРЫ 6-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Түрлі үлгідегі құрылғыларда металл, резистивті және диэлектрлі пленкаларды тозаңдатып қондыру. Пленкаларды қондырудың тәсілдерін өз бетінше таңдау (вакуумда термиялық тұндыру, катодты тозаңдату, газ фазасына тұндыру, электронды-сәулелі және магнетронды тозаңдату және т.б.). тозаңдату режимдерін меңгеру. Білуге тиіс: микропленкалы құрылымдағы жабдықтардың түрлі үлгілерінің құрылымы, дәлдігін тексеру әдістері мен ережесі; пленка қондыру тәсілін және процестің кезектілігін айқындау әдістері; пленкалы құрылымдарды алу режимдерін айқындаудың ережесі; пленкалардың параметрлерін бақылау әдістері; түрлі тәсілдермен пленкалы микроқұрылымдарды алу процесінің физикасын. Кәсіптік орта білім қажет етіледі. Жұмыс үлгілері 1. Пленкалы микротәсімдер, жартылай өткізгішті аспаптар - екіқабатты және көпқабатты металдандырудың түрлі үлгідегі құрылғыларында тәжірибелік үлгілерін әзірлеу. 2. Түрлі үлгідегі кремний пластиналар – бір уақытта алюминий жағып балқыту. 3. Құрылымды пластиналар - түрлі үлгідегі құрылғыларда көпқабатты тозаңдату. 4. Оптикалық қабаттар – үшқабатты екіжақты ағарту. 5. Интерференционды сүзгілер - l\2 аралық қабатты екі он екі қабатты айнаға қондыру.
7-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Берілген оптикалық тығыздық пен ақаулықпен металл және тотықты қабатты тозаңдатып қондыру. Силицидтен пайда болған баяу балқитын металлдарды тозаңдату. ЭЕМ пайдалана отырып тозаңдату процесін жүргізудің бағдарламасын жасау. Силицидтер мен металл пленкаларының сыртқы кедергісін өлшеу. Пленка мен пленка рельефін тозаңдату коэффициентінің көрсеткіш қасиетін айқындау. Көрсетілген параметрлерді ала отырып пленканы тозаңдату режимін меңгеру (қалыңдығы, құрамы, тозаңдату және көрсеткіш коэффициенттері), берілген параметрлерді өлшеуге арналған аспаптардың эталондары бойынша теңшеу және калибрлеу. Құрылғылардың камера ішілік құрылымын құрастыру және жинау және оларды тазалау. Вакуум жүйелерінің ағынын табу және оларды жою жөнінде шаралар қабылдау. Жоғары вакуум сапасын бағалау. Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықтың құрылғысы және жұмыс принципі; тартатын құралдардың жұмыс істеу принципі және вакуумды өлшеу тәсілдері; бақылау-өлшеу аспаптарын баптау және теңшеу, өткізгіш, резистивті, барьерлік, диэлектрлі қабаттарды және Шоттки диодтарын алу тәсілдері; пленкалардың электр физикалық қасиетіне тозаңдату режимдерінің әсері. Кәсіптік орта білім талап етіледі.
2-й разряд Жұмыс сипаттамасы. Кремнийге қоспалау (бор, фосфор) диффузиялары процестерін жүргізу және қорғаныс қабаттарын химиялық-термиялық әдіспен жасау (жоғары білікті жұмысшының басшылығымен).Газ ағынында және су буындағы кремний пластиналарын қышқылдау. Кремний пластиналарын тиеу және түсіру. Құрылғының жұмыс аймағы температурасын өлшеу және басқа режимдерді бақылау-өлшеу аспаптарының және термобудың көмегімен қадағалау. Кремний пластиналарындағы шлифтерді әзірлеу және солар бойынша диффузияларды айқындау. Металданған байланыстарды (алюминий, алтын) кремнийге күйдіру. Диффузантты өлшеу және оны жүктеу. Білуге тиіс: қышқылдау процестерін жүргізуге арналған құрылғылардың атауы, маңызды бөліктерінің қызметі мен қолдану принципі; бақылау-өлшеу аспаптарының, ротаметрлердің, байланысты термометрлердің қызметі және пайдалану шарттары; кестедегімен салыстырып интерференционды жолақтар бойынша тотықтардың қалыңдығын айқындау тәсілдері; жартылай өткізгішті (германий, кремний) материалдар мен легирлеуде (бор, фосфор және олардың қоспалары) қолданылатын материалдардың негізгі қасиеттері; р-п ауыспаларды (диодтар және триодтар) алу теориясының негіздері; төрт зонды әдіспен шекті кедергіні өлшеу құрылғысын қолдану принципі. Жұмыс үлгілері 1. Кремний, германий пластиналары - фотолитографиядан алдын термоөңдеу. 2. Тотықты пленкалар-бақыланатын төмен температурадағы тотықтандыру әдісімен инертті газ ортасында оттегімен алу. 3. Жиектері – бормен қанықтыру. § 16. ДИФФУЗИОНДЫ ПРОЦЕСТЕР ОПЕРАТОРЫ 3-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Белгілі бір үлгідегі жөнделген жабдықта жартылай өткізгіш материалдардың бір түріне тотықтандыру, араластыру процестерін жүргізу. Кремний пластиналары тотығының қалыңдығын және дрейфті жерлерін өлшеу. Беттік кедергінің және қоспа концентрацияларының қиғаш және сфералық шлифтерін, өтпелерін анықтау, тереңдігін өлшеу. Диффузиялы процесс режимін бақылау. Автоматты тиегіштің көмегімен пластиналарды тиеу және түсіру. Пластиналар сапасын араластыру және тотықтырудан кейін бақылау. Эпитаксиалды құрылымдар партияларын жиынтықтау (қалыптастыру). Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықтар мен құрылғылардың құрылғысы және баптау тәсілдері, орнату аймағындағы температураны өлшеу әдістері, газды кептіру дәрежелері, газдың, қолданылатын материалдардың қасиеттері, орындалатын жұмыстың шегінде электр техникасы және вакуум техникасының негізгі заңдары; түрлі факторлардың диффузионды қабатқа әсері; процесті бақылауға арналған аспаптардың құрылғысы; беттік кедергіні өлшеу әдістері; дрейфті жерлердің қалыңдығын бақылау әдістері. Жұмыс үлгілері 1. Алтын диффузиясы. 2. Боросиликатты шыны – бор диффузиясы. 3. Ерігіш шыны – сүрме диффузиясы. 4. Кремний құрылымдары – бір уақытта никельді араластыра отырып SI 02 пленканың көмегімен геттерлеу.
4-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Қатты, сұйық және газ тәріздес диффузанттарды пайдалана отырып германий, кремний және галлий арсенидке қоспалауды тотықтандыру және араластыру. Ионды қоспалау қабатын күйдіру. Иондар дрейфі процесін кремний пластиналарына құю процесін жүргізу. Екі қышқылдандыру немесе араластыру процесін бір уақытта жүргізу. Қоспалаушы элементтерді мөлшерлеу. Газ бөлетін пультті жұмысқа дайындау. Газ жүйесіндегі жеке тораптарды құрастыру және баптау (технологиялық газдардағы өсу нүктесін және оттектің құрамын айқындау). Температураны және басқа режимдерді қадағалау және оларды реттеу. Жабдық жұмысындағы бұзылған жерлерді айқындау. Р-п өтпелерді, резисторларды және микротәсімдер сипаттамасының электр параметрлерін өлшеу. Білуге тиіс: жоғары жиіліктегі қыздыру құрылғысының, дрейф, сутегі, вакуумды және силитті пештердің құрылғыларының құрылымы, бақылау-өлшеу аспаптарының қызметі және пайдалану шарттары (термобу, гальванометрлер, осциллографтар, вакуумметрлер және т.б.); диффузиялық пештердің температуралық пішінін өлшеу әдістері; жартылай өткізгіш материалдардың (германий, галлий арсениді, кремний) негізгі қасиеттері; газдардың қасиеттері ( сутегі, азот, оттегі); диффузанттардың негізгі қасиеттері; процестердің режимдері; бақылау тәсілдері мен әдістері; диффузиялық қабаттар параметрлерін қарапайым есептеу; оксидті пленкалардың, р-п өтпелердің негізгі қасиеттері; оларды алу және бақылау әдістері. Жұмыс үлгілері 1. Мышьяк, сүрмені араластыру. 2. Үшхлорлы фосфордан, оксихлореннен және қоспаланған пленкалардан жасалған фосфорды араластыру. 3. Бор нитридінен және бор тритромидінен жасалған борды араластыру. 4. Бор мен алтынды, фосфор мен алтынды араластыру (процесті бір уақытта жүргізу). 5. Кремний - НСL жұбында тотықтандыру. 6. Кремний пластиналары - СДО 125/3-12 үлгідегі пештерде термиялық тотықтандыру.
5-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Қатты, сұйық және газ тәріздес диффузанттарды пайдалана отырып түрлі үлгідегі диффузиялық (оның ішінде бағдарламалық басқарылатын) пештерде араластыру және тотықтандырудың күрделі процестерін жүргізу. процесті жүргізу бағдарламаларын құрастыру. Кремний, германий, галлий арсенидіне қоспаланған жапсырмаларды енгізу. Үздіксіз жұмыс істейтін пештерге, сутекті, вакуумды құрылғыларға қызмет көрсету. БИС, СБИС электр параметрлерін және транзисторлық құрылымдарды өлшеу. Араласатын қабаттар параметрлерін қарапайым есептеуді жүргізу. Араласатын қабаттар, тотыққан пленкалар параметрлерін өлшеу нәтижелері бойынша экспериментті деректерді талдау. Араластыру, тотықтыру, ионды араластыру қабаттарын күйдіру технологиялық процестерінің режимдерін бақылау және түзету. Мышьяк, сүрме, бор қосылған кварцты ампулалар және олардың қоспаларын лигатура ретінде құрастыру, вакуумдау және ажыратып алу. Газ жүйесін құрастыру және оның герметикалығын тексеру. Жабдықтың жұмысындағы ақаулықтарды айқындау және оларды жою. Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықтың электр және газ тәсімдері, берілген режимге оны баптау ережесі; процесті бақылауға арналған аспаптарды теңшеу және реттеу ережесі; құрылғыға келіп түсетін газды тазарту жүйесі; жұмыс режимдерін айқындау ережесі; алынатын аспаптардың параметрлеріне аралас қабаттардың сипаттамасының әсері. Кәсіптік орта білім талап етіледі. Жұмыс үлгілері 1. Мышьяк немесе фосфор жұбында мырышты үш еселік қоспаларға араластыру. 2. Кремний пластиналары - СДО-125/3-15үлгісіндегі бағдарламалық басқарылатын пештерде борды, фосфорды, мышьякты араластыру. 3. Кремний пластиналары – жоғары қысымда тотықтыру; көрінбейтін қабаттар жасау; бағдарламалық басқарылатын пештерде сүрмемен және мышьякпен араластыру. 4. Кремний пластиналары – жапқыш диэлектрик құру және оның параметрлерін бақылау. § 19. ДИФФУЗИЯЛЫҚ ПРОЦЕСТЕР ОПЕРАТОРЫ 6-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Қатты, сұйық және газ тәрізді диффузианттарды пайдалана отырып араластыру, тотықтырудың күрделі процестерін жүргізу. Түрлі үлгідегі, оның ішінде бағдарламалық басқарылатын пештер мен құрылғыларға қызмет көрсету. Экспериментті деректерді өңдеу, статистикалық деректер бойынша кестелер түзу. Топтастырылған пішіндегі, үстіртін қойырту есебін, қабаттардың өткізгіштігін жүргізу. Арналық БИС әзірлеуде режимдердің дербес тапсырмалары, полярископта және лазерлі элипсометрде дербес жұмыс істеу, тығыздықтың бетіндегі жағдайды вольт-сыйымдылығы сипаттамасы бойынша айқындау. Қоспаларды бөлу пішіндерін есептеу және экспериментальды айқындау. Автоматы диффузиялық құрылғыларда жұмыс – жұмыс процесіндегі режимдерді тәртіпке келтіру, түзету және бақылау. Білуге тиіс: араластыру процесін жүргізуге арналған түрлі үлгідегі жабдықтар мен құрылғылардың құрылымы, дәлдігін тексеру тәсілдері мен ережесі; араластыру және тотықтыру процестерінің теориясы; аралас қабаттардың сипаттамасына түрлі параметрлердің әсері; өтпелердің жарамдылығын айқындау тәсілдері мен әдістері; қолданылатын материалдардың физикалық-химиялық қасиеттері; араластыру процестерін жүргізуге байланысты есептер. Кәсіптік орта білім талап етіледі.
7-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Диффузанттардың түрлі үлгілерін пайдалана отырып тәжірибелік жабдықта және микропроцессорлық бағдарламалық басқарылатын жабдықта араластырудың жоғары температуралық процестерін жүргізу. Пирогенді тәсілмен кремний пластиналарын тотықтыру процесін жүргізу. Оттегі мен сутегі қоспаларының қажетті пропорцияларын есептеу. Тотықтыру немесе араластырудың үш процесін бір уақытта жүргізу. Қызметіне және оған талаптарға қарай диэлектрик қалыптастыру әдісін таңдау. Р-п өтпелерді алу және олардың вольт амперлік сипаттамасын Л2-56 өлшегіште бақылау. Компьютердің көмегімен ақпарат жинақтау және өңдеу. Жоғары температуралық өңдеу операцияларында ақаулардың пайда болу себептерін талдау және оларды жою жөнінде шаралар қабылдау. Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықтың құрылғысы және жұмыс принципі; бақылау-өлшеу жабдықтарының қызметі және қолдану шарттары (MPVSD, “Suzfsсan”, ЛЭФ-ЗМ спектрофотометрлер); тотық пленкаларының және аралас қабаттарының қызметі және оларға талаптар; тотықтардың өсу жылдамдығын айқындайтын факторлар; жартылай өткізгіштерде араластыру механизмі; термодиффузиялық операциялардан ақаулардың түрлері, оның пайда болуы себептері және жою тәсілдері, р-п өтпелерді алу тәсілдері және олардың жарамдылығын айқындау тәсілдері. Кәсіптік орта білім талап етіледі. Жұмыс үлгілері 1. оқшаулағыш тотық - пирогенді тотықтыру. 2. Фосфорды поликремнийге араластыру – жапқыштарды қоспалау. § 21. ЭПИТАКСИАЛДЫ ҚАБАТТАРДЫ ҰЗАРТУ ЖӨНІНДЕГІ ОПЕРАТОР 3-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Эпитаксиалды ұзарту құрылғыларында белгілі параметрлермен эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды ұзарту процесін жүргізу. Жабдықты жұмысқа дайындау, жабдықтың герметикалығын тексеру, жиектерін тиеу және түсіру. Ұзарту процесі режимін бақылау және түзету. Қолданылатын жиектердің, материалдардың сапасын тексеру. Газбен өңдеу процесін жүргізу. Оптикалық пирометр температурасын өлшеу. SiCL4 булағыштарға май құю. Түрлі үлгідегі жабдықтардағы кварцты жарақтарды шешу және орнату. Баллондарды ауыстыру. Білуге тиіс: маңызды бөліктердің құрылғысы, эпитаксиалды ұзарту құрылғыларының және бақылау-өлшеу аспаптарының қолдану принципі; эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік және металл қабаттарды ұзартуда қолданылатын химикаттардың қасиеті; ұзарту процесінде жиектерінің бетінде болатын реакциялар; эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік және металл қабаттардың сапасына қоспалардың әсері; ротаметрлерді градуирлеу тәсілдері; булағыштарды ұзарту, реакторды салқындату процесінің температурасын өлшеу және реттеу әдістері; баллондармен, магистральді газдармен және газ қоспалармен жұмыс істеу ережесі. Жұмыс үлгілері: Эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттар - бір қабатты құрылымды ұзарту. § 22. ЭПИТАКСИАЛДЫ ҚАБАТТАРДЫ ҰЗАРТУ ЖӨНІНДЕГІ ОПЕРАТОР 4-разряд Жұмыс сипаттамасы. Барлық үлгідегі эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды ұзарту процесін жүргізу. Бақылау процесінің нәтижелері бойынша ұзарту процесін түзету. эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды ұзарту жылдамдығын есептеу. Қоспаланатын қосындының концентрациясын есептеу. Графитті қыздырғыштарды (пьедесталдарды) карбидтеу. Қоспаланған қосындылардың белгілі концентрацияларының SiCL4 ерітінділерін әзірлеу. Құрылғылардағы ақауларды айқындау. Білуге тиіс: түрлі үлгідегі жабдықтардың құрылғысы және баптау тәсілдері; эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды ұзарту әдістері және олардың қасиеттері, жартылай өткізгішті материалдардың қасиеті; газдың қасиеті, эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл құрылымдардың негізгі электр физикалық және құрылымдық параметрлерін өлшеу әдістері; газ бөлу және сумен салқындату жүйесін бақылауға арналған аспаптардың қызметі және қолдану шарттары; эпитаксиалды құрылымдардың, эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттардың параметрлеріне қоспаланатын қосындылардың концентрациясының әсері, орындалатын жұмыс шеңберінде электр техника негіздері. Жұмыс үлгілері: Эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттар – жасырын қабатты құрылымдарды ұзарту. § 23. ЭПИТАКСИАЛДЫ ҚАБАТТАРДЫ ҰЗАРТУ ЖӨНІНДЕГІ ОПЕРАТОР 5-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Көп қабатты эпитаксиалды құрылымдарды, диэлектрлік қабаттарды ұзарту процестерін жүргізу. Аса жіңішке поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды ұзарту. Түрлі әдістермен қабаттардың параметрлерінің шашырағанын жою. ВЧ-қыздыруды пайдаланатын құрылғылардағы температуралық режим бойынша стакандарды ауыстыру және индукторларды теңшеу. Инфрақызыл және қыздырудың басқа да түрлерін қолданатын құрылғыларда процестің температуралық режимін теңшеу. Технологиялық процесті электронды басқару жүйесінің режимін жасау. Білуге тиіс: қызмет көрсетілетін жабдықтың электрлік және газ тәсімдерін; оны тексерудің тәсілдері, негізгі ақаулықтар және оларды жоюдың әдістері; күрделі және көп қабатты эпитаксиалды құрылымдарды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды алу процесінің режимі және жүргізу ережесі; процесті бақылауға арналған аспаптарды теңшеу және реттеу ережесі; эпитаксиалды ұзарту процесі теориясының негіздері; технологиялық процесті басқарудың электронды жүйесімен жұмыс істеу ережесі. Кәсіптік орта білім талап етіледі. Жұмыс үлгілері 1. Көп қабатты эпитаксиалды құрылымдар - берілген параметрлермен ұзарту. 2. Көп қабатты құрылым диэлектрик- жартылай өткізгіш - ұзарту. 3. Жұқа эпитаксиалды қабаттар - ұзарту.
6-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Түрлі үлгідегі жабдықтарда кез келген қызметтегі эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабатты алу процесін өз бетінше жүргізу. Плазмадан жасалған процестерді, газ тәрізді, сұйықтық және қатты көздерді пайдалана отырып процестерді жүргізу. Қабаттарды ұзарту жөніндегі эксперименталды және тәжірибелік жұмыстарды жүргізу. Жұмыс процесіндегі режимдерді өз бетінше түзету. Қоспаланатын қосындылардың концентрациясын есептеу, бу мен газ ағынының жылдамдығын, режимдердің температурасын есептеу. Технологиялық процестерді басқарудың электронды жүйесінде режим беру және түзету. Білуге тиіс: түрлі үлгідегі жабдықтардың құрылымы, баптау тәсілдері мен ережесі; технологиялық процесті басқарудың электронды жүйесімен жұмыс істеу ережесі, жартылай өткізгішті материалдарды прецизионды өңдеу әдістері, қоспаланатын қосындылардың концентрациясын есептеу әдістері; эпитаксиалды, поликристалды, диэлектрлік, металл қабаттарды араластыру және ұзарту процесінің ерекшеліктері; жартылай өткізгіш аспаптардың және эпитаксиалды құрылым негізіндегі қатты тәсімдердің құрылымдары; жартылай өткізгіштер теориясының негіздері; ұзартудың технологиялық процестерінің химиялық негіздері. Кәсіптік орта білім талап етіледі. Жұмыс үлгілері 1. Көп қабатты эпитаксиалды құрылымдары - берілген түрлі параметрлермен ұзарту. 2. Локалды эпитаксия - ұзарту. § 25. ПЛАЗМОХИМИЯЛЫҚ ПРОЦЕСТЕРДІҢ ОПЕРАТОРЫ 4-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Жартылай өткізгіш материалдарды өңдеу, фоторезисті алу, плазмохимиялық жабдықтардың түрлі үлгісіндегі кремний екі тотығын отырғызу процестерін жүргізу. Fe2О3 пленкасын ионды-плазмалық жағу. Кремний пластиналарын, шыны пластиналарды, сұйық кристалды индикаторларды тиеу және түсіру. Құрылғылардың жұмысындағы ақаулықтарды айқындау және оларды жою жөнінде шаралар қабылдау. Бақылау өлшемдері бойынша плазмохимиялық өңдеу режимін түзету. Бақылау-өлшеу аппаратурасының көмегімен плазмохимиялық өңдеуді режимдерін тіркеу және ұстап отыру. Жағылған пленканың қалыңдығын бақылау, микроскоптың көмегімен микротәсімдер элементтерінің желілік өлшемдерін өлшеу. Микроскоптың және өлшегіш аспаптардың көмегімен пластиналарды өңдеудің сапасын айқындау. Білуге тиіс: түрлі үлгідегі плазмохимиялық құрылғылардың құрылғысы, оларды қолдану принципі, кинематиканы, электр және вакуум тәсімдерді, қызмет көрсетілетін жабдықтың дәлдігін теңшеу ережесі; бақылау-өлшеу аспаптары мен құралдарының құрылғысы, қызметі және қолданылуы; пластиналарды өңдеу процесінде тарту процесінің қызметі және плазма жасау ортасының рөлі; вакуум дәрежесін бақылау тәсілдері мен әдістері; плазма жасайтын ортаның негізгі қасиеттері мен сипаттамасы; плазма химиялық өңдеу процесінің негіздері, газ разрядтайтын плазманың әсер етуіне фоторезисторлық маскалардың төзімділігін бағалау, электр техникасы және вакуумды техниканың негізгі заңы. Жұмыс үлгілері 1. Кремний пластиналары – жоғары жиіліктегі разряд плазмасында оттегімен моносиланды жіктеу және өзара іс-қимыл жолымен SiO2 плазмохимиялық отырғызу; түрлі-түстілік кестесі бойынша жаққаннан кейін SiO2 пленканың қалыңдығын айқындау. 2. Фоторезистілі мезо-құрылым – диэлектрлік пленканы ионды-плазмалық тозаңдату. 3. Пластиналар - плазмохимиялық құрылғылардағы фоторезистерді жою. 4. Кремний пластиналары - алюминийде жатқан кремний екі тотығын плазма химиялық өңдеу. 5. Шыны пластиналар - Fe2О3 ионды-плазмалық жағу. Сұйық кристалды индикаторлар - плазма химиялық құрылғылардағы полиамиді жою.
5-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Пластиналар мен материалдарды плазма химиялық тазалау процесін жүргізу, плазма химиялық жабдықтың түрлі үлгілерінде екі тотықты пленкаларды жағу. Эмиссияға қарсы және эмиссиялық қабатты ионды-плазмалық немесе плазма-доғалық әдіспен жағу. Молибден, алюминийді ионды-плазмалық әдіспен тозаңдату. Жұмыстың берілген режиміне жабдықты дайындау және теңшеу. Жоғары жиіліктегі генератордың жүктемесін келісу. Вакуум жүйелердегі ақаулықтардың себептерін анықтау. Плазмалық-химиялық өңдеудің берілген жылдамдықтан ауытқуының себептерін анықтау және оларды жою. Бақылау өлшемдерінің нәтижелері бойынша процестерді жүргізудің режимдерін түзету. Түрлі үлгідегі микроинтерферометрлерде өңдегеннен кейін микроқабаттардың қалыңдығын бақылау. Білуге тиіс: газ беру және шығару жүйесі, химиялық белсенді газдардың молекулаларының плазмасында диссоциациялауда болатын негізгі процестер; плазмохимиялық өңдеуде ұшырайтын пленкалардың қасиеттері; плазмадағы технологиялық процестердің химиялық негіздері; өңдеу тереңдігін айқындау әдістері, тотықтардың қалыңдығын айқындау әдістері, интерферометрлердің құрылғысы және теңшеу. Жұмыс үлгілері 1. Кремний пластиналар – мыс және кремний қоспасымен молибден, алюминийді ионды-плазмалық тозаңдату; плазмохимиялық әдіспен SiO2 пленкасын отырғызу; ПНХТ зарядының, өтетін кернеуліктің көлемін өлшеу; интерферометрдегі пленканың қалыңдығын бақылау, микроскопта бетінің сапасын бақылау. 2. Ситалл пластиналар – бор нитриді пленкасын плазмохимиялық отырғызу. 3. Бор нитриді пленкалары – плазмохимиялық өңдеу. 4. Фотошаблондар және кремний пластиналары - ионды-плазмалық және плазмохимиялық өңдеу.
6-разряд
Жұмыс сипаттамасы. Өңдеудің берілген таңдаулығымен түрлі реагенттерді пайдалана отырып плазмохимиялық тазарту, жартылай өткізгіш материалдарды, металдарды, металл жүйелерді өңдеу процестерін жүргізу. Материалдарды плазмохимиялық өңдеу жылдамдығын айқындау. Плазма жасайтын түрлі орталарда фотолитография процесіндегі түрлі пленкаларды тазалау, өңдеу режимдерін өздігімен таңдау. Берілген дәлдікте және өңдеу жылдамдығының ара қатынасында пластиналарды плазмохимиялық өңдеу режимдерін игеру. Жартылай өткізгіш аспаптардың параметрлеріне плазмалық өңдеудің әсерін бағалау. Білуге тиіс: вакуум және газ жүйелерінің құрылымы; ионды көздердің, плазмотрондардың және реакция разрядтау камераларының құрылғысы және жұмыс істеу принципі; оларды теңшеу және реттеу әдістері; плазмохимиялық процестердің пленкаларды отырғызу, жартылай өткізгіш пластиналар мен материалдарының беттерін өңдеу жөніндегі теориясын; жартылай өткізгіш аспаптардың сипаттамасына бетін өңдеудің сапасының әсері; пленкалардың берілген параметрлерін алу үшін түрлі үлгідегі плазмохимиялық жабдықтардың жұмыс істеу режимін айқындау ережесі; плазмохимиялық өңдеу теориясының негіздері. Кәсіптік орта білім талап етіледі. Жұмыс үлгілері: Кремний пластиналар - Si3N4, AL2O3, ванадийді плазмохимиялық өңдеу. жүктеу/скачать 2.38 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|