81
2.3. осаждение и напыление на подложку
стеренок, спиралей и т. д. Полученные керамические изделия имеют
однородную микроструктуру и плотность.
Перспективным является использование нанокерамики, которая
получена гидротермальным синтезом, относящимся к методам «мяг-
кой химии».
Гидротермальный метод синтеза, работающий при повы-
шенных значениях температуры и давления, позволяет получать ок-
сидную нанокерамику, например TiO
2
, ZrO
2
, HfO
2
, в том числе и в виде
нанопрутков. Нанокристаллические порошки диоксидов титана, цир-
кония, гафния и композиции на их основе уже сейчас находят приме-
нение в
качестве катализаторов, газовых сенсоров, диэлектрической
керамики, красителей, твердых электролитов, диффузионных барье-
ров и оптических покрытий. Можно ожидать, что с развитием гидро-
термального метода синтеза использование оксидной нанокерамики
в различных областях техники и электроники только усилится.
2.3. осаждение и напыление на подложку
Методы синтеза поверхностных (двумерных) наноструктур или
пленочных материалов различного назначения
представляют собой
известные способы получения твердофазных материалов, но име-
ют свои отличительные особенности, связанные с нанесением ма-
териалов на подложку. Пленочные, поверхностные, нанострукту-
ры
обладают особыми свойствами, отличающими их от объемных
материалов. В тонких пленках реализуются такие явления, как эф-
фекты электроформовки, мягкий и восстановительный пробой, А-
и В-фриттинг, эффект электронного переключения и др. Для совре-
менной электроники и спинтроники, создания сверхпроводящих
структур особое место занимает сверхточный синтез с заданной то-
пологией (заданный порядок расположения атомных слоев) в син-
тезируемой структуре. В настоящее
время полупроводниковые, ме-
таллические и диэлектрические тонкие пленки получают в основном
методами, которые делятся на четыре группы: электрохимические,
конденсация из паровой фазы в вакууме, кристаллизация из газовой
фазы с помощью химических реакций, осаждение из жидкой фазы
(раствор — расплав). Каждый метод имеет свои особенности и при-
меняется для определенного ряда веществ в соответствии с их фи-