Методические указания к лабораторной работе Издательство Томского политехнического университета 2015
Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ-2
жүктеу/скачать 0.64 Mb.
|
- Бұл бет үшін навигация:
- 4. Широкодиапазонный вакуумметр СС-10
3. Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ-2Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ-2 предназначен для измерения давления сухого воздуха в диапазоне 0.2 – 10–7 Торр. Вакуумметр состоит из измерительной установки, работающей в комплекте с ионизационным манометрическим преобразователем ПМИ-2 и термопарным манометрическим преобразователем ПМТ-2. Рис. 4. Вакуумметр ионизационно-термопарный ВИТ-2 Диапазон давлений, измеряемый вакуумметром, от 0.2 до 1·10–7 Торр. Давление в пределах от 0.2 до 1·10–3 Торр измеряется термопарной манометрической лампой, а от 1·10–3 до 1·10–7 Торр – ионизационной манометрической лампой. Шкала выходного прибора термопарной части вакуумметра градуирована в милливольтах и давление определяется по градуировочной кривой. 4. Широкодиапазонный вакуумметр СС-10Рис. 5. Широкодиапазонный вакуумметр СС-10 Компактный широкодиапазонный со встроенным цифровым дисплеем. Для измерения вакуума прибор использует два датчика: в диапазоне 760 - 10-2 Торр работает высоконадежный кристаллический кварцевый датчик, в диапазоне 10-2 до 10-9 Торр используется двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом. Диапазон измерений 760 - 10-9 Topp. Низковакуумный датчик (760 - 10-2 Торр) представляет собой кварцевый резонатор, подобный тому, который используется в наручных кварцевых часах. Рис. 6. Структурная схема манометрического преобразователя с кварцевым резонатором: 1 – усилитель, 2 – сопротивление обратной связи, 3 – кварцевый резонатор, 4 – конденсатор, 5 – сопротивление, 6 –амплитудно-частотный преобразователь Двойной инверсно-магнетронный датчик с холодным катодом измеряет давление, ионизируя остаточный газ в ионизационной камере. Циллиндрический корпус датчика используется как катод и на него продается нулевой потенциал, на анод, расположенный в центре ионизационной камеры при работе подается потенциал более +4 кВ. Магнитная система удерживает свободные электроны в области датчика, заставляя их двигаться по кругу внутри цилиндрического катода. Рис. 7. Схема инверсно-магнетронного датчика с холодным катодом (1 – метталический корпус, 2 – высоковольтный электрод, 3 – баланстный резистор, 4 – магнит, 5 – измерительный прибор) и градуировочная зависимость Для настройки прибора используется миниатюрная сенсорная панель управления. Показания давления отображаются на дисплее, три световых индикатора предназначены для индикации состояния реле вакуума. Вакуумметр СС-10 оснащен линейным выходом 0-10 В и цифровым интерфейсом RS 485 в стандартной комплектации. жүктеу/скачать 0.64 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|