- Харрис предложил продифференцировать спектр N(Е), то есть превратить его в , в результате чего фон практически исчезает, а на месте слабого оже-сигнала колоколообразной формы появляется интенсивный двухполярный пик с амплитудой А, который легко может быть зарегистрирован
- Для обнаружения оже-электронов необходимо уметь выделять электроны, находящиеся в очень узком интервале энергий.Для этого используют энергоанализаторы. В ОС используют анализаторы типа «цилиндрическое зеркало».
Получение энергетического спектра - Основные элементы: два металлических коаксиальных цилиндра 2 и 3 с радиусами r1 и r2
- Внутренний цилиндр обычно заземляют, а на внешний подается отрицательный потенциал. Между цилиндрами образуется анализирующее поле.
- Вторичные электроны попадают в это поле и при своем движении отклоняются к оси цилиндра. При некотором значении потенциала U на внешнем цилиндре только электроны с энергией Е проходят в выходные окна 4 во внутреннем цилиндре и попадают на коллектор 5.
Получение энергетического спектра - Изменение потенциала U -> на коллекторе будут собираться электроны с другим значением энергии
- Если осуществить медленную развертку напряжения между цилиндрами, то будет записан непрерывный спектр вторичных электронов.
- легкие электроны сильно отклоняются даже в слабых магнитных полях. Для защиты от них используется специальный магнитный экран 6.
- Основная задача - определение концентраций атомов, входящих в состав многокомпонентных образцов
- Идея одного из методов вычисления концентрации заключается в следующем. Атомная концентрация какого-либо сорта атомов Ni в многокомпонентном образце, содержащем n сортов атомов, может быть выражена следующим образом:
Количественная оже-спектроскопия - а – некоторая константа, Ii – соответствующий ток оже-электронов, а Si – фактор элементной чувствительности
- для полной концентрации N всех атомов, входящих в состав образца, можно записать:
- относительная атомная концентрация Сх:
Достарыңызбен бөлісу: |
