- Выпускаются сейчас сканирующие оже-спектрометры, в которых два прибора объединены вместе
- Основа – сканирующий (растровый) электронный микроскоп микроскоп (РЭМ) (электронный пучок малого диаметра, передвигается в двух перпендикулярных направлениях, засвечивая определенный участок поверхности
- в каждый момент времени вторичные электроны несут информацию с участка, определяемого размерами электронного пучка
Растровая ОЭС - Визуализация картины осуществляется с помощью электронно-лучевой трубки, в которой синхронно с электронным зондом движется свой электронный пучок
- Получается картина, отражающая эмиссионные свойства объекта
Растровая ОЭС
блок-схема
1 – образец, 2 – коллектор для сбора вторичных электронов, 3 – энергоанализатор электронов, 4 – детектор энергоанализатора, 5 – электронно-лучевая трубка, 6 – катод электронной пушки, 7 – модулятор электронной пушки, 8 – отклоняющие пластины электронно-лучевой трубки, служащие для получения растра, 9 – экран электронно-лучевой трубки.
Спектрометры типа ЭСО-3УМ и ЭСО-5УМ
Общие технические характеристики спектрометров: - - возможность регистрации всех элементов с атомными номерами, большими, чем у гелия;
- - высокая чувствительность для лёгких элементов (Z<11) ;
- - возможность получения изображения во вторичных и поглощённых электронах;
- - возможность измерения профиля распределения элементов и его анализ;
- - энергетическое разрешение 0,3%;
- - рабочий вакуум 2*10-7-3*10-8 Па;
- - рабочий газ для ионных пушек - аргон;
- - максимальный размер растра во вторичных электронах 3 х 3 мм.
Применение ЭОС - изучение процессов адсорбции и десорбции на поверхностях твердых тел, коррозии, явлений, происходящих при поверхностном гетерогенном катализе
- контроль за чистотой поверхности в различных технологических процессах
- в микроэлектронике, в том числе для выявления причин отказа различных элементов микросхем
Достарыңызбен бөлісу: |
