60
помещают в камеру с диафрагмой и нагревают до высокой температуры в
вакууме. Испарившиеся частицы,
проходя через диафрагму, образуют
молекулярный пучок. Интенсивность пучка, а
следовательно и скорость
конденсации частиц на подложке, можно менять,
варьируя температуру
источника и равновесное давление пара над испаряемым материалом.
2.2.2. Аэрозольный метод
Аэрозольный метод заключается в испарении металла в разреженной
атмосфере инертного газа с последующей конденсацией паров. Размер
частиц определяется условиями конденсации (способом
испарения,
давлением инертного газа-разбавителя) и может изменяться от нескольких до
сотен нанометров. Этим методом были получены наночастицы Fe, Co, Ni, Cu,
Ag, Au, Al и ряда других металлов и их соединений (оксидов, нитридов,
сульфидов, хромсодержащих сплавов). При совместном испарении металлов,
взятых в определенных стехиометрических пропорциях, в
атмосфере
инертного газа с небольшим содержанием кислорода можно синтезировать
сложные оксиды и твердые растворы различного состава. Например, в
литературе описано получение аэрозольным методом порошка люминофора
Y
2,82
Tb
0,18
Ga
2,5
Al
2
,
5
O
12
с размером частиц приблизительно 100 нм, РЭМ –
изображение которого представлено на рис. 20.
61
Рис. 20. Порошок Y
2,82
Tb
0,18
Ga
2,5
Al
2
,
5
O
12
,
полученный аэрозольным
методом.
Как видно из рис. 20, порошки, получаемые по этой технологии,
практически монодисперсны, что является большим достоинством метода.
Достарыңызбен бөлісу: