Техника высокого вакуума. Лабораторный практикум doc
Магнитные электроразрядные насосы
жүктеу/скачать 6.33 Mb. Pdf көрінісі
|
| Магнитные электроразрядные насосы
Откачка газов магниторазрядным насосом является результатом двух основных механизмов поглощения. Один из них – сорбция газов распыленным геттером; второй – ионное внедрение в катоды и пленки распыленного катодного материала (геттера). Распыление геттерного материала в магнитных электроразрядных насосах происходит под действием ионов откачиваемого газа, бомбардирующих катодные пластины. а б Рис. 6. Схемы диодного магниторазрядного насоса: а – с плоскими, б – с ребристыми катодами. 1 – анод; 2 – катод; 3 – ось ячейки; 4 – ион; 5 – стенки щели. 80 Ионизация газовых молекул осуществляется при взаимодействии нейтрального газа с плазмой пеннинговского разряда в полости анодных ячеек. Анодные ячейки могут иметь в сечении круглую, квадратную, прямоугольную или правильную многоугольную форму. Число ячеек в мощных насосах достигает несколько тысяч, магнитное поле в них перпендикулярно плоскости катодов. Зажигание разряда происходит при подаче постоянного напряжения в несколько киловольт между анодом и катодами. Свободные электроны, всегда имеющиеся в разрядном промежутке, начинают совершать сложное колебательное движение между катодами, вызывая возбуждение и ионизацию газовых атомов или молекул, и появление вторичных электронов. В результате этого процесса в полости анодных ячеек формируется стабильный пространственный заряд с электронной концентрацией 10 10 – 10 12 см -3 , поддерживающий самостоятельный газовый разряд вплоть до давлений 10 –11 – 10 –13 мм рт.ст. Образовавшиеся в результате ионизации газа положительные ионы ускоряются аксиальным электрическим полем и бомбардируют катоды, вызывая их интенсивное распыление. В среднем один падающий ион выбивает один атом титана. Поскольку основная жүктеу/скачать 6.33 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|