Техника высокого вакуума. Лабораторный практикум doc
жүктеу/скачать 6.33 Mb. Pdf көрінісі
|
Часть первичных ионов внедряется также в поверхность катодов; в дальнейшем, однако, вследствие распыления катодов возможна их реэмиссия. Поскольку интенсивное распыление катодов напротив анодной ячейки охватывает только их центральную область, а примерно 10-20% их поверхности вообще не затрагивается процессом распыления, доля необратимо поглощенных катодами атомов инертных газов определяется именно этой поверхностью. При длительной откачке аргона в системах с магниторазрядными насосами возникают периодические колебания давления (так называемая «аргонная нестабильность»), в такт которым изменяется и разрядный ток. Эти колебания возникают вследствие реэмиссии внедренных атомов аргона и захватывают диапазон 2·10 –4 – 1·10 –5 мм рт. ст. Аргонная нестабильность часто возникает и при длительной (несколько сотен часов) откачке воздуха при давлении 10 –5 мм рт. ст. Длительность старта (запуска) магниторазрядных насосов зависит от степени чистоты внутренних поверхностей откачиваемого сосуда и насоса, а также от степени предварительного разрежения. 83 Неохлаждаемый магниторазрядный насос может запускаться с давлений не более 0,1 мм рт. ст., но в таком случае длительность старта может превышать 3 часа. В момент старта насоса при высоком давлении запуска, возникающий тлеющий разряд может выходить за пределы разрядных ячеек, захватывая даже область присоединительного патрубка насоса. В этом случае при выключении средств предварительной откачки с откачиваемым сосудом и магниторазрядным насосом и включении насоса вместо понижения давления будет наблюдаться его повышение в результате повышенного газовыделения внутренних поверхностей насоса и присоединительного патрубка. Если нет возможности создать лучшее предварительное разрежение, запуск насоса производят, не прекращая предварительной откачки. Средства предварительной откачки отсоединяют от откачиваемого сосуда и насоса после того, как стабильно начнет понижаться давление. Достигаемое с помощью магниторазрядных насосов предельное остаточное давление зависит от предыстории насоса, суммарной наработки, режимов работы и рода откачиваемого газа. На предельное остаточное давление, так же как и на длительность старта, сильное влияние оказывает загрязнение насоса углеводородами. Например, создание предварительного разрежения с помощью механических насосов с масляным уплотнением повышает предельное остаточное давление в 5-10 раз. С течением времени (если принудительно не обезгазить насос) происходит самовосстановление насоса в результате разложения тяжелых углеводородов в разряде с последующей откачкой образующихся легких углеводородов. Но это достаточно длительный процесс. Главным преимуществом электроразрядных насосов является получение с их помощью вакуума, свободного от загрязняющих примесей органических веществ. Следовательно, не возникает необходимость использовать с этими насосами охлаждаемые ловушки или отражатели, что, в свою очередь, позволяет полностью реализовать собственную скорость откачки насоса, а также открывает возможность размещения насоса непосредственно в вакуумной камере. Для большинства электроразрядных насосов требуется только источник электропитания, который не нуждается в специальном 84 обслуживании и средствах защиты. По току разряда в насосе можно оценивать давление в системе, и при незначительном изменении схемы блока питания насос можно использовать в качестве течеискателя. К недостаткам электроразрядных насосов следует отнести их ограниченную газовую емкость, низкую скорость откачки инертных газов, а также наличие сильных магнитных полей, присутствие которых в некоторых случаях недопустимо. жүктеу/скачать 6.33 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|