Техника высокого вакуума. Лабораторный практикум doc

Министерство образования и науки Российской Федерации 
Ивановский государственный химико-технологический университет 
Н.В. Холодкова, И.В. Холодков 
ТЕХНИКА ВЫСОКОГО ВАКУУМА 
 
Лабораторный практикум 
Иваново 2014 

2 
УДК 533.5:531.78 
 
Холодкова, Н.В. Техника высокого вакуума: лабораторный 
практикум / Н.В. Холодкова, И.В. Холодков; Иван. гос. хим.-
технол. ун-т. – Иваново, 2014. – 143 с. 
Лабораторный практикум включает описание 8 лабораторных 
работ по основным разделам лекционного курса, в которых дана в 
необходимом объеме теоретическая часть, методика выполнения и 
контрольные вопросы. 
Предназначен для студентов направления подготовки 
«Электроника 
и 
наноэлектроника» 
профиля 
подготовки 
«Микроэлектроника и твердотельная электроника» и направления 
подготовки «Химическая технология» профиля подготовки 
«Технология 
материалов 
и 
изделий 
электроники 
и 
наноэлектроники» при изучении дисциплины «Техника высокого 
вакуума». Практикум может быть полезен и для студентов других 
технологических специальностей, практических инженеров. 
Печатается по решению редакционно-издательского совета 
Ивановского государственного химико-технологического 
университета 
Рецензенты: 
кафедра технологии керамики и наноматериалов Ивановского 
государственного химико-технологического университета; доцент, 
кандидат технических наук А.В. Митрофанов (Ивановский 
государственный энергетический университет) 
© Холодкова Н.В., 
Холодков И.В., 2014 
© Ивановский 
государственный 
химико-технологический
университет, 2014 

3