Материалы и методы нанотехнологий : учебное пособие
жүктеу/скачать 3.3 Mb. Pdf көрінісі
|
глава 1. Методы синтеза наночастиц и нанопорошков бразование и исключает возможность загрязнения. Другие преиму- щества лазерного нагрева: отсутствие поверхностей, вызывающих гетерогенное зародышеобразование, однородное и точное управле- ние процессом. Использование лазера как источника энергии обеспе- чивает монохроматичность и высокую яркость излучения, благода- ря чему достигается высокая степень преобразования света в тепло. Лазерный синтез нанокристаллических порошков Si, Si 3 N 4 и SiC под- робно описан в литературе. Порошки кремния получали пиролизом газообразного силана SiH 4 с использованием CO 2 -лазера. Зерна по- рошка Si сферической формы имели диаметр (50±20) нм и состояли из нескольких кристаллитов размером порядка 15 нм. Порошки ни- трида кремния Si 3 N 4 синтезировали из газовой смеси силана SiH 4 и аммиака NH 3 . Полученный порошок был аморфным, зерна порошка имели сферическую форму и средний размер (17±4) нм, причем рас- пределение зерен по размеру более узкое, чем в порошке Si (для Si 3 N 4 разброс по размерам зерен был от 10 до 25 нм). В отличие от нанопо- рошка кремния, зерна Si 3 N 4 не имели внутренней структуры. Для син- теза карбида кремния SiC использовали газовые смеси силана с ме- таном или этиленом. Размер зерен в полученном кристаллическом порошке SiC составлял от 18 до 26 нм, средний размер — 21 нм. Ис- следование показало, что размер наночастиц уменьшается с ростом интенсивности (мощности, отнесенной к единице площади) лазер- ного излучения из-за повышения температуры и скорости нагрева газов-реагентов. Зерна нанопорошков, синтезированных с примене- нием лазерного нагрева, отличаются узким распределением по раз- меру и сферической формой. Плазмохимический газофазный синтез с использованием лазерно- го излучения для создания и поддержания плазмы оказался эффектив- ным методом получения молекулярных кла жүктеу/скачать 3.3 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|