87
противном случае в начале эксперимента из-за слишком
быстрой откачки зарегистрировать
показания приборов
окажется затруднительным. Начать измерение зависимости
I
р
=
f(
P).
4.3. При снижении скорости
откачки ее можно увеличить
открыванием вентиля
3 вплоть до полного открытия.
4.4. По окончании процесса откачки определить величину
предельного давления в рабочем объеме.
Выключение установки
1.
Выключить
ионизационную,
затем
термопарную
части
вакуумметра.
2. Закрыть вентиль 3 до упора с усилием и выключить блок БП.
3. Выключить форвакуумный насос.
Контрольные вопросы:
1. В чем заключается принцип ионной откачки?
2. Классификация электрофизических средств откачки.
3. Особенности откачки инертных газов и углеводородов.
4. В чем заключается принцип геттерной откачки?
5. Каково назначение магнитного поля в магниторазрядном насосе?
6. В чем заключается явление аргонной нестабильности?
7. Поясните понятие саморегулирования скорости распыления
геттера в магниторазрядных насосах.
8. Чем определяется предельное давление геттерных насосов?
9. Перечислите основные достоинства
электрофизических средств
откачки.