Техника высокого вакуума. Лабораторный практикум doc
жүктеу/скачать 6.33 Mb. Pdf көрінісі
|
| Рис. 5. Установка для получения высокого вакуума с байпасной линией.
Такие вакуумные схемы применяют в тех случаях, когда в течение рабочего дня необходимо проводить несколько циклов откачки (установки термического и ионного получения пленок, установки плазмохимической обработки и т.п.). При первом цикле откачки порядок работы тот же, что и на прямоточной установке (рис. 3). Обратите внимание лишь на вентиль байпасной линии 11, который должен быть закрыт. После достижения необходимого вакуума и проведения технологического процесса в объеме 5, необходимо разгерметизировать его и извлечь готовые образцы. Для этого необходимо закрыть вентиль 6 и напустить атмосферный воздух в объем 5, открыв вентиль 9. Для следующего цикла откачки следует закрыть вентиль 9, закрыть вентиль 3 и открыть байпасный вентиль 11. Откачать объем до давления запуска паромасляного насоса (до 10 –1 мм рт. ст.), закрыть вентиль 11 и открыть вентили 3 и 6. Для создания регулируемого потока газа через объем 5, вакуумная установка может быть снабжена натекателем 8. Внимание! Перед напуском атмосферного воздуха в объем 5 необходимо выключать ионизационный манометрический преобразователь 10. Порядок выключения установки тот же, что и в прямоточной системе. 12 Установки четвертой группы сверхвысокого вакуума (ниже 10 –8 мм рт. ст.) могут конструироваться как по прямоточной схеме, так и по схеме с байпасной линией. Отличие от установок для получения высокого вакуума состоит в следующем: 1. Для достижения сверхвысокого вакуума используют другие типы высоковакуумных насосов (ионно-сорбционные, турбомолекулярные и криогенные); 2. Между высоковакуумным насосом и откачиваемым объемом в трубопровод включается какая-либо ловушка для уменьшения обратного потока газа; 3. Коммутирующая аппаратура и трубопроводы изготавливаются цельнометаллическими, что позволяет проводить процесс обезгаживания путем прогрева до 200-400 °С; 4. Используют специальные манометрические преобразователи. жүктеу/скачать 6.33 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|