13
Рис. 6. Виды вакуумных стеклянных кранов:
а – угловой,
б – трехходовой,
в – проходной.
Пробки
вакуумных кранов полые, благодаря чему они плотно
прижимаются к муфтам под действием атмосферного давления.
При этом угловые краны более целесообразно использовать для
соединения установки с атмосферой, чем проходные.
Вакуумметры
Каждая вакуумная установка оснащена приборами для
измерения вакуума –
вакуумметрами,
которые разделяются на
следующие группы:
-
деформационные вакуумметры, в которых в качестве
чувствительного элемента используется трубчатая пружина,
мембрана
или сильфон, деформирующиеся под действием
разности давлений с противоположных сторон элементов;
-
гидростатические
вакуумметры,
непосредственно
измеряющие давление как разность уровней жидкости в
сообщающихся сосудах (к этой группе относятся U-образные с
открытой и закрытой трубкой, чашечные, поплавковые и
колокольные вакуумметры, микровакуумметры с
наклонной
трубкой);
-
компрессионные вакуумметры, действие которых основано на
изотермическом сжатии идеального газа (манометры Мак-Леода);
-
тепловые вакуумметры, в которых используется измерение
теплопроводности газов в
зависимости от давления;
подразделяются
на
термопарные
и
вакуумметры
сопротивления;
-
ионизационные
вакуумметры,
использующие
явление
ионизации остаточного газа потоком электронов, испускаемых
накаленным
катодом
(электронные
ионизационные
вакуумметры),
или
альфа-частицами,
получаемыми
радиоактивным препаратом (радиоактивные ионизационные
вакуумметры). Ионный ток в этих приборах служит мерой
молекулярной концентрации, т. е. давления газа;
-
электроразрядные магнитные вакуумметры, в
которых мерой
давления служит ток разряда, возникающий при низких
давлениях под действием электрического и магнитных полей
14
(разновидностью вакуумметров
этого класса являются
магнетронный и инверсно-магнетронный вакуумметры).
Области давлений, измеряемые различными вакуумметрами,
приведены в таблице 1.
Таблица 1
Низкий вакуум,
мм рт.ст.
Средний вакуум,
мм рт.ст.
Высокий вакуум,
мм рт.ст.
Сверхвысокий вакуум,
мм рт.ст.
760 10
2
10
1
10
0
10
-1
10
-2
10
-3
10
-4
10
-5
10
-6
10
-7
10
-8
10
-9
10
-10
10
-11
Достарыңызбен бөлісу: