Приложение Терминологический англо-русский словарь по мэмс и нэмс a ablation

B

 Bandwidth - это разница между верхней и низшей частотой среза фильтра

 Batch Fabrication - групповой метод производства. Производственный процесс, в течении которого одновременно изготавливается большое количество устройств

 Beam - луч, пучок

 Beam processing - лучевая обработка. Процесс обработки, использующий высокоплотные энергетические лучи.

 Behavioral model - поведенческая модель

 BioMEMS - БиоМЭМС. МЭМС устройства, использующиеся в области биотехнологии

 Bimetal - биметаллический

 Biomimetics - биомиметика. Создание функций, которые имитируют движение или механизмы организмов

 Bode plot - график Боде

 Bonding - технология объединения одного материала с другим

 Bonding pads - контактные площадки. Металлизированные площадки по периметру чипа, используемые для соединения чипа с контактами корпуса путем приварки микропроводов

 Boron etch stop technique - технология остановки травления Бором

 Boundary - граничный

 Boundary element analysis (BEA) - анализ граничных элементов

 Bow - измерение плоскостности подложки, обычно указанное с конусностью

 Breaking strength - прочность на разрыв. Напряжение, действующее в твёрдом материале в момент, когда оно разламывается под действием внешней силы

 Buckminsterfullerene - сфера из 60 атомов углерода, один из типов фуллерена

 Buckyball - популярное название Buckminsterfulleren

 Buffered oxide etch (BOE) - травление буферным оксидом

 Build-in - встроенные

 Bulk Micromachining - объёмная микрообработка. Формирование травлением микроструктуры непосредственно в подложке

C

 Capacitive displacement meter - емкостной измеритель смещения. Устройство для измерения смещения на основе емкостного сопротивления

 Carbohydrate - углеводород

 Carbon nanotube (CNT) - углеродная нанотрубка

 Castiglianos theorem - теорема Кастильяно

 Catalyst - катализатор

 Cauchy number - число Коши

 Cell - клетка

 Cell fusion - слияние клеток. Слияние двух смежных клеток в одну с исчезновением перегородки между ними.

 Cell surgery - клеточная хирургия

 Charge density - плотность заряда

 Charge coupled device - устройства с зарядовой связью

 Chemical bearing - химический подшипник. Подшипник, который поддерживает ведущий вал жгутикового двигателя, который является двигательным органом бактерии

 Chemical-mechanical polishing (CMP) - химико-механическое полирование

 Chemical Vapour Deposition (CVD) - химическое осаждение из паровой (газовой) фазы. Рост тонких твердых плёнок на подложке в результате термохимических реакций в паровой фазе

 Chemo Mechanical Planarization (CMP) - технология обработки, которая одновременно адресует получение чистой поверхности, контроль плоскостности и утоньшения

 Clamp - защемлять, зажимать

 Coating - нанесение покрытия. Технология формирования плёнок различных типов на твёрдой поверхности.

 Coefficient of static friction - коэффициент статического трения

 Coherently diffracting domains (CDD) - когерентно рассеивающие области

 Comb drive - штырьевой двигатель

 Сompound - компаунд

 Computer-aided design (CAD) - автоматизированное проектирование

 Concentration dependent etching - травление, зависящее от концентрации

 Conservation law - закон сохранения

 Сontact lithography - контактная литография

 Copolymer - сополимер. Полимеры, молекулы которых содержат звенья мономеров, различного химического состава

 Cost of Ownership - стоимость собственности. Полная стоимость для пользователя, относительно первоначальной стоимости оборудования, используемых материалов, приспособлений, эксплуатационные расходы, время оператора, накладные расходы оператора, от начала вложений и до конечного результата

 Coupling coefficient - коэффициент связи

 Сovalent bond - ковалентная связь

 Cross-axis Sensitivity - чувствительность по поперечной оси

 Cross section - поперечное сечение

 Crucible - тигель

 Curie point - точка Кюри, точка, при которой пьезоэлектрик теряет свои свойства

 Curve fitting - аппроксимация кривой

D

 DC analysis - статический анализ

 Deep Reactive Ion Etching (DRIE) - глубинное реактивное ионное травление

 Deflection - деформация, отклонение

 Deposition - осаждение, нанесение слоев материала на подложку.

 Density - плотность

 Deviation - девиация, отклонение

 Device - отдельное устройство

 Dielectric constant - диэлектрическая пстоянная

 Differential algebraic equations (DAEs) - дифференциально-алгебраические уравнения

 Difference quantity - дифференциальная величина

 Diffraction - дифракция

 Diffusion - диффузия

 Diffusion gauge - тензодатчик, который использует пьезорезистивный (тензорезистивный) эффект, диффундируя примесь в кремниевую подложку.

 Dislocation - дислокация

 Doping - легирование. Технология модификации материала добавлением примеси

 Drift - дрейф

 Dry etching - сухое травление. Процесс травления в газовой фазе, посредством физической и/или химической реакции реактивного газа или плазмы

 Durability - износоустойчивость, прочность