J  Joule effect - эффект Джоуля. Эффект, касающейся изменения в размерах магнитного материала, вызванного внешним магнитным полем K

J

K

L

 Laminar flow - ламинарный поток

 Lapping - доводка, шлифование. Промежуточный процесс утончения (между шлифовкой и полированием), в котором управляемое удаление материала, качество обработки поверхности и получение необходимой плоскостности имеют одинаково важное значение

 Laser-assisted chemical vapour deposition (LCVD) - Сопровождаемое лазером химическое осаждение из газовой фазы. Технология которая использует лазерный луч для управления химическим осаждением из газовой фазы

 Laser Drilling - лазерное сверление. Метод, который используют для создания 3- мерных структур в таких материалах, как кремний, стекло, пластик при помощи динамического фокусирования высококоллимированного, монохроматического, когерентного светового пучка на рабочую область

 Laser interferometry - лазерная интерферометрия. Технология для определения геометрии, точных расстояний и т.д использующих явление интерференции лазерных лучей

 Lattice - кристаллическая решётка

 Layer Thickness - толщина слоя, измеряется в микронах или нанометрах

 Layer Thickness variation (LTV) - колебание толщины слоя

 Layout - топология, размещение элементов на кристалле

 Left-hand orthogonal crystallographic axial set - левосторонняя ортогональная кристаллографическая осевая группа

 Lift-off technique - метод обратной [взрывной] литографии. Технология для получения металлических контактных площадок на чипе.

 Light driven actuator - актюатр управляемый светом. Актюатр, который использует свет как сигнал управления или источник энергии

 Linear actuator - линейный актюатр. Актюатр, который генерирует линейное движение

 Linearity - линейность, максимальная разница между базисной линейной линией и выходным сигналом устройства

 Lithography - литография. Процесс переноса рисунка на поверхность пластины с помощью светового излучения (photolithography), потока электронов или рентгеновского излучения (X-ray lithography)

 LIGA - Лига-технология. Технология, объединяющая процессы литографии, гальваники и формовки для получения микроструктур

 Localized Electrochemical Deposition (LED) - локализованное электрохимическое осаждение

 Low-pressure chemical vapor deposition (LPCVD) - химическое осаждение из паровой [газовой] фазы при пониженном давлении

 Lost wafer process - процесс уничтожения подложки. Технология, которая использует селективное травление для удаления большей части подложки и оставшейся части диффузионного слоя

 Low temperature oxide (LTO) - низкотемпературный оксид

M

 Mask - маска, шаблон. Носитель рисунка и, собственно, сам рисунок, используемый в литографии для переноса изображения

 Mechanical shock - механический удар. Максимальный механический удар, приложенный к каждой оси в + или - направлении, при котором ни одна из частей не будет разрушена, когда к устройству приложено номинальное напряжение

 Melt - плавление, расплав

 MEMS - микроэлектромеханические системы. Миниатюрные устройства, включающие в свой состав три компоненты: микроактюатор, микросенсор и электронная система управления. Термин наиболее распространен в США, в Европе для обозначения этой области применяется термин "микросистемная технология" (MST: MicroSystems Technology), в России - "микросистемная техника", в Японии - "микромашины" (micromachines)

 MEMS Industry Group (MIG) - промышленная группа по МЭМС

 Microsystem - микросистема

 Micro-chamber - микрокамера

 Micro-cutting and grinding - микрорезание и шлифовка. Микромеханический процесс используемый для скобления поверхности некоторого объекта, используя байт или шлифовальный круг

 Micro injection molding (MIM) - микролитьевая формовка, микролитье под высоким давлением

 Micromolding - микроформовка. Технология получения микроскопических элементов заданной формы после заливки расплавленного материала в шаблон

 Microgripper - микрозахват, микрозажим. Механическое устройство, которое сжимает микроскопические объекты

 Micropump - микронасос. Механическое устройство, которое сдавливает и затем транспортирует небольшое количество жидкости

 Microrelay - микрореле

 Microscopic surgery - микрохирургия. Хирургические операции, выполняемые под микроскопом

 Microswitch - микропереключатель

 Microtweezer - микропинцет

 Microvalve - микроклапан. Механическое устройство, которое управляет потоком жидкости в микроскопическом канале

 Microwave - микроволна, радиоволна с частотой выше 1 ГГц

 Microengineering - технология получения 3-х мерных структур/устройств с размерами порядка микрометр

 Microfabrication - технология производства для изготовления микроскопических устройств, таких как интегральные схемы и МЭМС

 Micron - микрон. Единица толщины/длины, равная 10_-6 м.

 Microstructures - полная или частичная архитектура устройства, полученная из слоёв осаждённого материала

 Microtechnology - технология, имеющая дело с материалами микронных размеров

 Micro-Optical Electro-Mechanical Systems (MOEMS) - микрооптоэлектромеханическая система (в тело кремниевого чипа встроены оптические элементы)

 Micromirrors - микрозеркала. МЭМС технология позволяет изготавливать микроскопические зеркала, которые управляют светом для применения в оптических переключателях и проекционных дисплеях

 Microsystems Technology (MST) - микросистемная технология

 Miller Index - индексы Миллера

 Modified nodal analysis (MNA) - усовершенствованный узловой анализ

 Modular system for Constraint Nonlinear Microsystem Optimization (MOSCITO) - модульная система для оптимизации ограничения нелинейности микросистемы

 Mohs' scratch hardness - твердость по шкале Моса

 Moore's Law - закон Мура

 Movable part - подвижный узел

 Molecular dynamics - молекулярная динамика. Динамика, которая объясняет макроскопические явления, с характеристикой молекулярного движения на основе на классической динамики

 Multi-User MEMS Process (MUMPS) - многопользовательский МЭМС процесс

 Multipole - многополюсник

 Multidomain system - многообластная система, многофакторная система