Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин.. Анализ массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Материаловедение. 2004. №5. С.18-23. Е.П.светлов-Прокопьев. Возможные синергетические подходы к проблемам современного материаловедения. Материалы 7-й Международной научной конференции «Молекулярная биология, химия и физика гетерогенных систем». (МБХ и ФГС), Москва-Плес, 7-13 сентября 2003. М.: Изд-во «Юнона», 2003. С.109-112. Б.Ю.Богданович., А.В. Нестерович, С.П.Тимошенков, В.И Графутин,. Е.П Прокопьев, П.В. Алферов, В.В.Калугин, Ю.Я.Лапицкий, Ю.Б.Стасевич. .Возможности создания источников ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Оборонный комплекс-научно-техническому прогрессу России. 2004. №1. С.55-61. E.P.Prokop’ev, S.P.Timoshenkov, V.V.Kalugin, V.I.Grafutin. Possibility of SOI structure production using wet surface treatment (chemical assembling) and smart-technique. Abstracts of International Conference «Micro- and nanoelectronics-2003” (ICMNE-2003). Zvenigorod, Moscow discrict, October 6-10, 2003. P.O1-14.
А.Л.Суворов, Е.П.Прокопьев, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин.Исследование процесса очистки поверхности подложек с использованием методов термообработки во влажных условиях при получении структур кремний на изоляторе. Известия вузов. Электроника. 2002. №3. С.24-29.
E.P.Svetlov-Prokop’ev . Anomalies of positronium atom annihilation in crystals. Тезисы докладов 8-й Международной Конференции по физике твердого тела Казахстан, Алматы, 23-26 августа 2004 г. С.104.
Е.П.Светлов-Прокопьев. Особенности рождения ранних вселенных и позитронная аннигиляция. Вестник КазНУ, сер. физ., 2003. Т.2(15). С.7-10. (Материалы докладов 3-й Международной конференции «Современные достижения физики и фундаментальное физическое образование». Казахстан, Алматы, 1-3 октября 2003 г.).
S.P. Timoshenkov, E.P. Svetlov-Prokop'ev, V.V.Kalugin, A.A.Zaharov. Possibility of Silicon-on-Insulator (SOI) Structure Production Using Wet Surface Treatment and Smart Technique. Тезисы докладов 8-й Международной Конференции по физике твердого тела, Казахстан, Алматы, 23-26 августа 2004 г. С.115.
Е.П.Светлов-Прокопьев. Вероятный физический механизм самоорганизации при ядерном синтезе и синтезе антивещества при низких энергиях. Тезисы доклада. «Вторая междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия…) конференция, посвященная 300-летию г.Петрозаводска «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 23-25 июня 2003 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2003. С.51.
Е.П.Светлов-Прокопьев. О рождении антиматерии при столкновениях атомных ядер с Z>85 в «тяжелой» высокотемпературной плазме и возможная схема аннигиляционного двигателя. Тезисы доклада. «Вторая междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия…) конференция, посвященная 300-летию г.Петрозаводска «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 23-25 июня 2003 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2003. С.50,51. С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин, В..И.Графутин. Разработка и изготовление структур КНИ сращиванием пластин кремния для производства радиационно-стойких ИС. Научная сессия МИФИ-2004. IV Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2004. С.47.
С.П.Тимошенков, В.В. Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.И.Графутин. Физико-химические основы производства микромеханических чувствительных элементов гироскопов и акселерометров. Научная сессия МИФИ-2004. IV Научно-техническая конференция «Научно-инновационное сотрудничество». Сборник научных трудов. Часть 2. М.: МИФИ, 2004. С.48,49.
Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, А.В.Нестерович, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Применение ПАС в радиационной физике материалов. Научная сессия МИФИ-2004. Сборник научных трудов. Том 7. М.: МИФИ, 2004. С.185.
С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Исследование процессов подготовки поверхности пластин кремния в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Микроэлектроника. 2003. Т.32. №6.С.459-465.
А.Л.Суворов, Е.П.Прокопьев, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин. Исследование процесса очистки поверхности подложек с использованием методов термообработки во влажных условиях при получении структур кремний на изоляторе. Известия вузов. Электроника. 2002. №3. С.24-29.
Б.Ю.Богданович., А.В. Нестерович, С.П.Тимошенков, В.И Графутин,. Е.П Прокопьев, П.В. Алферов, В.В.Калугин, Ю.Я.Лапицкий, Ю.Б.Стасевич. .Возможности создания источников ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Оборонный комплекс-научно-техническому прогрессу России. 2004. №1. С.55-61.
Тимошенков С.П., Лапицкий Ю.Я., Графутин В.И., Прокопьев Е.П., Калугин В.В., Стасевич Ю.Б., Захаров А.А. Разработка источников ионов водорода для имплантации протонов в полупроводниковые пластины с целью создания многослойных структур. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2004. №4. С.45-49.
А.Л.Суворов, В.И.Графутин,. Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В. Калугин. Разработка процессов химической обработки сращиваемых подложек. Атомная энергия. 2003. Т.95. Вып.5. С.359-363.
В.П.Бабаев, С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев, Ан.С.Тимошенков, В.В.Калугин, Д.К.Григорьев, Ал.С.Тимошенков. Возможные синергетические подходы к проблемам электронного материаловедения. Петербургский журнал электроники. 2003. №3. С.21-39.
Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков. ELTRAN процесс в производстве солнечных элементов. . Петербургский журнал электроники. 2003. №4. С.18-24.
Достарыңызбен бөлісу: |