Тезисы доклада «Симпозиум по ядерной химии высоких энергий»



жүктеу/скачать 1.1 Mb.
бет12/16
Дата25.06.2016
өлшемі1.1 Mb.
#157200
1   ...   8   9   10   11   12   13   14   15   16

Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин.. Анализ массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Материаловедение. 2004. №5. С.18-23.

  • Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин. Особенности процесса роста слоев GexSi1-x на изолирующих и полупроводниковых подложках в смешанных гидридном и дихлорсилановом процессах. Материаловедение. 2004. №6. С.8-12.

  • В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, П.В.Крамер, С.А.Гаврилов, Г.Г.Мясищева, Ю.В.Фунтиков. Позитронные состояния и фазовые переходы в пористом кремнии. Химическая физика. 2004. Т.23. №5. С.22-28.


  • Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, В.В.Калугин, Г.Г.Мясищева, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков.Изучение протонированных пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. I. Теория и методика эксперимента. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2004. №2. С.19-25.

  • Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, В.В.Калугин, Г.Г.Мясищева, А.В.Нестерович, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков.Изучение протонированных пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. . II. Теория позитронных состояний в кремнии, облученном протонами. Определение средних концентраций радиационных дефектов. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2004. №3. С.37-43.

  • С.А.Гаврилов, В.И.Графутин, В.В.Калугин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование нанопористых материалов методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Доклад и тезисы докладов 54 Международного Совещания по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (ЯДРО-2004) 22-26 июня 2004. Россия, Белгород. БелгорГУ. 2004. C.297.

  • Светлов-Прокопьев Е.П. Проблема физики и химии антивещества и возможности его синтеза. Доклад и тезисы докладов 54 Международного Совещания по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (ЯДРО-2004) 22-26 июня 2004. Россия, Белгород. БелгорГУ. 2004. C. 264, 265.

  • Cветлов-Прокопьев Е.П. Возможности получения интенсивных потоков позитронов и их применение. Доклад и тезисы докладов 54 Международного Совещания по ядерной спектроскопии и структуре атомного ядра (ЯДРО-2004) 22-26 июня 2004. Россия, Белгород. БелгорГУ. 2004. C. 266, 267.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. Анализ математических моделей процесса роста пленокв силановых плазменных смесях пониженного давления. Сборник трудов IV Международной конференции. (5-8 июля 2004 года. Санкт-Петербург: ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, 2004) Санкт-Петербург: Изд-во СПбГПУ, 2004. С. 33, 34.

  • С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Исследование свойств структур КНИ методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Сборник трудов IV Международной конференции. (5-8 июля 2004 года. Санкт-Петербург: ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, 2004) Санкт-Петербург: Изд-во СПбГПУ, 2004. С.316, 317.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. Возможная концепция Мирового Разума. Тезисы доклада. «Третья междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия, математика, образование,…) конференция «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 21-23 июня 2004 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2004. С.48.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: химическая обработка. Петербургский журнал электроники. 2004. №1. С.13-19.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: Физико-химические основы методов обработки. Петербургский журнал электроники. 2004. №2. С.24-33.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Получение приборных структур КНИ с использованием методов химической обработки и сращивания пластин кремния. Микроэлектроника. 2004. Vol.33. №4. С.296-301.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. О проблемe физики и химии антивещества и возможности его синтеза. Тезисы доклада. «Третья междисциплинарная (биология, медицина, физика, химия, математика, образование,…) конференция «Новые биокибернетические и телемедицинские технологии 21 века» («НБИТТ-21»). 21-23 июня 2004 г. Петрозаводск: ПетрГУ, 2004. С.49,50.

  • С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Е.П.Светлов-Прокопьев, О.М.Бритков. Получение приборных структур КНИ с использованием методов химической обработки и сращивания пластин кремния. пленки – 2004. Материалы Международной научно-практической конференции «Тонкие пленки и наноструктуры». 7-10 сентября 2004 г., Москва-2004. Часть 2. М.: МИРЭА (ТУ), 2004. С.145-148.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.И.Графутин, В.В.Калугин, А.Н.Бойко. Разработка и изготовление структур КНИ для производства интегральных схем и микроэлектромеханических систем. . intermatic – 2004. Матермалы Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения». 7-10 сентября 2004 г., Москва-2004. Часть 2. М.: МИРЭА (ТУ), 2004. С.52-55

  • Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин. Учет вклада действия ударной волны в общий процесс массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. intermatic – 2004. Материалы Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения». 7-10 сентября 2004 г., Москва-2004. Часть 2. М.: МИРЭА (ТУ), 2004. С.127-129

  • С.П.Тимошенков, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, В.В.Калугин. Исследование, разработка и изготовление структур КНИ для производства интегральных схем и различных приборов микроэлектроники. Материалы 14-й Международной конференции «СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии» (КрыМиКо”2004). Севастополь, Крым, Украина – 13 – 17 сентября 2004 г. Черномор. Филиал МГУ и СевНТУ, 2004. C.545,546.

  • В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование облученных протонами пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Материаловедение. 2004. №11. С.16-19. №12. С.14-21.

  • В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование облученных протонами пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. ЧастьII. Материаловедение. 2004. №12. С.29-35.

  • Б.Ю.Богданович, А.В.Нестерович, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, Е.П.Светлов-Прокопьев,. П.В.Алферов, В.В.Калугин. Радиационные свойства структур КНИ. Труды XIV Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». (Севастополь, 5 - 11 июля 2004 г.), ред. проф. Бондаренко Г.Г. М.: МИЭМ (ТУ), 2004. С.396-400.

  • В.И.Графутин, С.П.Тимошенков, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, Ю.В.Фунтиков, О.М.Бритков. Применение ПАС для определения концентраций радиационных дефектов в пластинах кремния, облученных протонами. Труды XIV Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». (Севастополь, 5 - 11 июля 2004 г.), ред. проф. Бондаренко Г.Г. М.: МИЭМ (ТУ), 2004. С.537-541.

  • В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков,А.А.Голубский, Ю.В.Фунтиков, П.В.Тимошенков. Исследование структур кремний на изоляторе методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Труды XIV Международного совещания «Радиационная физика твердого тела». (Севастополь, 5 - 11 июля 2004 г.), ред. проф. Бондаренко Г.Г. М.: МИЭМ (ТУ), 2004. С.542-546.

  • Е.П. Светлов-Прокопьев Возможность неравновесных фазовых переходов в ансамблях дефектов кремния в процессе ионной имплантации. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.149.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Cветлов-Прокопьев, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Ю.Я.Лапицкий, Б.Ю.Стасевич. Разработка модифицированного источника ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины с целью создания многослойных структур. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.187.

  • Е.П.Cветлов-Прокопььев. Лазерно-химические методы осаждения слоев кремния в гидридном и хлоридных процессах в стационарном и импульсном режимах. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.88.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев. Радиационные свойства структур КНИ. Тезисы докладов Совещания «КРЕМНИЙ - 2004». 5 – 9 июля 2004 Иркутск. Иркутск:Изд-во Института географии, 2004. С.123.

  • Б.Ю.Богданович, А.В.Нестерович, С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, П.В.Алферов, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Ю.Я.Лапицкий, Б.Ю.Стасевич. Разработка и исследование модифицированного источника ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.53,54.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин. Лазерно-химические методы осаждения слоев кремния в гидридном и хлоридных процессах в стационарном и импульсном режимах. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.110,111.

  • С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин. Технологии получения многослойных структур и структур КНИ с использованием стеклообразных материалов. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.126,127.

  • Е.П.Светлов-Прокопьев. Проблема физики и химии антивещества и возможности его синтеза. Материалы VIII Всерос. науч. конф. с междунар. участием, посвящ. 80-летию со дня рождения генерального конструктора ракетно-космических систем академика М.Ф. Решетнева (11-12 нояб 2004, г.Красноярск)/СибГАУ.-Красноярск,2004.-302 с.). С.102, 103.

  • Б.Ю.Богданович, А.В.Нестерович, С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, П.В.Алферов, В.В.Калугин, В.И.Графутин, Ю.Я.Лапицкий, Б.Ю.Стасевич. Разработка и исследование модифицированного источника ионов водорода для технологических установок имплантации протонов в полупроводниковые пластины большого диаметра с целью создания многослойных структур. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.53,54.




    1. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, В.И.Графутин. Лазерно-химические методы осаждения слоев кремния в гидридном и хлоридных процессах в стационарном и импульсном режимах. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.110,111.

    2. С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин. Технологии получения многослойных структур и структур КНИ с использованием стеклообразных материалов. Материалы научно-практической конференции материаловедческих обществ России “Создание материалов с заданными свойствами: методология и моделирование”. Ершово, 22 – 26 ноября 2004 г. Ершово, Россия. М.: МИФИ, 2004. С.126,127.

    3. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков. Возможность синергетического подхода к проблеме окисления поверхности германия в микроэлектронике. НАДЕЖНОСТЬ И КАЧЕСТВО. Труды международного симпозиума. Под ред. А.Н.Андреева, В.И.Волчихина, Е.А.Мокрова, А.В.Блинова, Н.К.Юркова, В.А.Трусова. Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2004. С.184-189. (об`ем – 481 с., илл. – 274, табл.96, библ. – 817 назв.).

    4. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.И.Графутин, В.В.Калугин. Учет вклада действия ударной волны в общий процесс массопереноса в гидридных и хлоридных процессах наращивания слоев кремния и GexSi1-x при быстром импульсном нагреве подложек некогерентными источниками света. Тезисы доклада Международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии». 19-24 октября 2004 г. Кисловодск, Россия, 2004. С.121.

    5. Светлов-Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П. Получение слоев GexSi1-x на изоляторе в смешанных гидридном и дихлорсилановом процессах. Тезисы докладов девятой научно-технической конференции «Актуальные проблемы твердотельной электроники и микроэлектроники». ПЭМ-2004. ТРТУ, пос. Дивноморское, Краснодарский край, Россия, 12-17 сентября 2004 г. 2004. С.98.

    6. S.P.Timoshenkov, E.P.Prokop'ev, V.I.Grafutin, V.V.Kalugin. Research and manufacture of SOI structures to produce integrated circuits and micro-electromechanical systems. Modern problems of nuclear physics and physics and chemistry of condensed matter. Proceedings of the 7th Moscw International ITEP School of Physics. (32-th ITEP Winter School of Physics). «Otradnoe», Moscow region, Februari 16-26, 2004. Editors: A.L.Suvorov, F.S.Dzeparov, M.A.Kozodaev, S.V.Stepanov. 2004. M., Академпринт.2004. 224 c., с.191- 195.

    7. V. I. Grafutin, G. G. Myasishcheva, E. P. Prokop’ev, S. P. Timoshenkov, and Yu. V. Funtikov. The Study of Imperfections in Solids by Positronic Annihilation Spectroscopy. Modern problems of nuclear physics and physics and chemistry of condensed matter. Proceedings of the 7th Moscw International ITEP School of Physics. (32-th ITEP Winter School of Physics). «Otradnoe», Moscow region, Februari 16-26, 2004. Editors: A.L.Suvorov, F.S.Dzeparov, M.A.Kozodaev, S.V.Stepanov. 2004. M., Академпринт.2004. 224 c., с.92-96.

    8. V. I. Grafutin, Yu. A. Novikov, and E. P. Prokop’ev. On the Positron Annihilation in Metals. Modern problems of nuclear physics and physics and chemistry of condensed matter. Proceedings of the 7th Moscw International ITEP School of Physics. (32-th ITEP Winter School of Physics). «Otradnoe», Moscow region, Februari 16-26, 2004. Editors: A.L.Suvorov, F.S.Dzeparov, M.A.Kozodaev, S.V.Stepanov. 2004. M., Академпринт.2004. 224 c., с.97-100.

    9. Е.П.Прокопьев. Возможность исследования процесса окисления кремния в атмосфере влажного воздуха и кислорода синергетическими методами. Химическая технология. 2004. №11. С.2-5.

    10. С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Химическая обработка поверхности полупроводниковых пластин в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Химическая технология. 2004. №12. С.3-11.

    11. Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, А.В.Нестерович, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Применение ПАС в радиационной физике кремния. Научная сессия МИФИ-2005. Сборник научных трудов. Том 7. М.: МИФИ, 2005. С.113,114.

    12. В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование облученных протонами пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Материаловедение. 2004. №11. С.16-19. №12. С.14-21.

    13. С.А.Гаврилов, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Прямое экспериментальное наблюдение атома позитрония в пористом кремнии методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Письма в ЖЭТФ. 2005. Т.81. Вып.11-12. С.680-682.

    14. О.М.Бритков, С.А.Гаврилов, В.И.Графутин, В.В.Дягилев, В.В.Калугин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Применение метода позитронной аннигиляционной спектроскопии для исследования дефектов структуры твердого тела. Вопросы атомной науки и техники (ВАНТ) (Саров). Серия теоретическая и прикладная физика. 2004. Вып.3. С.40-50.

    15. В.И.Графутин, О.В. Илюхина, Г.Г.Мясищева, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Н.О.Хмелевский, Ю.В.Фунтиков. Исследования методом позитронной аннигиляционной спектроскопии дефектов в облученном протонами кремнии. Микроэлектроника. 2005. Т.34. №3. С.218-224.

    16. А.Л.Суворов, Т.Л.Разинкова, Е.П.Светлов-Прокопьев и др. Некоторые вопросы проблемы физики, химии и технологии антивещества: возможности синтеза, хранения, исследования свойств, поиска во Вселенной и применений. Программа и доклад на Юбилейной научной сессии-конференции секции ЯФ ОФН РАН «Физика фундаментальных взаимодействий», посвященной 60 летию ИТЭФ (5 – 9 декабря 2005 г.). Москва: ФГУП ГНЦ РФ ИТЭФ им. А.И.Алиханова, 2005. С.11.

    17. А.Л.Суворов, Т.Л.Разинкова, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.И.Графутин, Ю.В.Фунтиков. Исследование позитронных состояний в космической плазме. Программа и доклад на Юбилейной научной сессии-конференции секции ЯФ ОФН РАН «Физика фундаментальных взаимодействий», посвященной 60 летию ИТЭФ (5 – 9 декабря 2005 г.). Москва: ФГУП ГНЦ РФ ИТЭФ им. А.И.Алиханова, 2005. С.11.

    18. Т.Л.Разинкова, Е.П.Светлов-Прокопьев. Позитронсодержащие атомные системы в космической плазме. Программа и доклад на Юбилейной научной сессии-конференции секции ЯФ ОФН РАН «Физика фундаментальных взаимодействий», посвященной 60 летию ИТЭФ (5 – 9 декабря 2005 г.). Москва: ФГУП ГНЦ РФ ИТЭФ им. А.И.Алиханова, 2005. С.22.

    19. Е.П.Светлов-Прокопьев. Возможные проблемы высоких космических технологий будущего. «Решетневские чтения». Материалы IX Международной научной конференции, посвященной 45-летию Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М.Ф.Решетнева (10—12 ноября 2005, г.Красноярск)/СибГАУ.-Красноярск, 2005). С.5,6.

    20. S.A. Gavrilov, V.I. Grafutin, O.V. Ilyukhina, G.G. Myasishcheva, T.L. Razinkova, E.P. Svetlov-Prokop’ev, S.P. Timoshenkov, Yu.V. Funtikov, N.O. Khmelevsky. Direct experimental observation of positronium atom in porous silicon. LV National conference on nuclear physics of nucleus. Frontiers in the physics of nucleus. June 28-July 1, 2005. Saint-Petersburgs, Russia. BOOK OF ABSTRACTS. Saint-Petersburgs, 2005. P.335.

    21. В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Е.П.Прокопьев, Ю.В.Фунтиков. Аннигиляция позитронов в водно-спиртовых растворах нитратов. Химическая физика. 2005. Т.25. №4. С.13-16.

    22. А.Л.Суворов, В.И.Графутин, А.Г.Залужный, Е.П.Прокопьев. О когерентном поведении атмосферы дефектов и научных основах эксплуатации материалов атомной техники: Обзор. 3 Международная конференция «Ядерная и радиационная физика», Алматы, 4 – 7 июня 2001. Т.2. Радиационная физика. Алматы: Изд-во ИЯФ НЯЦ Р.К. 2001. С.415-425.

    23. В.Ф.Реутов, А.Л.Суворов, А.Г.Залужный, В.И.Графутин, С.П.Тимошенков, Е.П.Прокопьев. Развитие технологии и получения тонких пластинок, мембран и структур кремний-на-изоляторе (КНИ) с использованием метода газового скалывания. 3 Международная конференция «Ядерная и радиационная физика», Алматы, 4 – 7 июня 2001. Т.2. Радиационная физика. Алматы: Изд-во ИЯФ НЯЦ Р.К. 2001. С.489-503.

    24. Е.П.Прокопьев. Возможные синергетические подходы к проблемам радиационной физики материалов. 4 Международная конференция «Ядерная и радиационная физика», Алматы,.15-17 сент., 2003: ICNP’03. Т.2. Радиационная физика твердого тела и проблемы материаловедения. Алматы: Изд-во ИЯФ НЯЦ Р.К. 2004, с.103-133. Библиогр. 65.

    25. Е.П.Прокопьев. Возможность исследования процесса окисления кремния в атмосфере влажного воздуха и кислорода синергетическими методами. Химическая технология. 2004. №11. С.2-5.

    26. С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Прокопьев. Химическая обработка поверхности полупроводниковых пластин в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Химическая технология. 2004. №12. С.3-11.

    27. Б.Ю.Богданович, В.В.Дягилев, В.И.Графутин, А.В.Нестерович, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Применение ПАС в радиационной физике кремния. Научная сессия МИФИ-2005. Сборник научных трудов. Том 7. М.: МИФИ, 2005. С.113,114.

    28. В.В.Дягилев, В.И.Графутин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование облученных протонами пластин кремния, используемых для производства структур КНИ, методом позитронной аннигиляционной спектроскопии. Материаловедение. 2004. №11. С.16-19. №12. С.14-21.

    29. Е.П.Прокопьев. Возможные синергетические подходы к окислению и деградации структур кремний на изоляторе. Коррозия: материалы, защита. 2005. №2. C.32-36.

    30. Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, В.В.Калугин. Определение по динамическим вольт-фарадным характеристикам электрофизических свойств и однородности толщин структур кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2005. №2. С.45-49.

    31. В.И.Графутин, А.Г.Залужный, Е.П.Прокопьев, В.Ф.Реутов, А.Л.Суворов, С.П.Тимошенков, Б.Ю.Шарков, Ю.А.Чаплыгин.Основы технологии связывания (сращивания) протонированных пластин кремния с гидрофильными подложками при получении структур кремний на изоляторе, многослойных структур Ge/Si, (GexSi1-x)/Si тонких монокристаллических слоев кремния, германия, полупроводников A3B5 И A2B6 для производства новой элементной базы опто-, нано- и микроэлектроники с целью создания современных суперкомпьютеров, специальных ИС и приборов, микромеханических устройств, сенсоров, датчиков и солнечных элементов. www.itep.ru/lowenergy/Grafutin/Review_for_MIET.doc - 18 АПР 2005

    32. В.И.Графутин, А.A.Захаров, О.В.Илюхина, В.В.Калугин, Г.Г.Мясищева, Е.П.Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков.. Изучение методом ПАС пластин кремния с различными методами обработки поверхности. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2005. №2. С.68-74.

    33. С.П.Тимошенков, Ю.Я.Лапицкий, Ю.Б.Стасевич, В.И.Графутин, Е.П.Прокопьев, В.В.Калугин, А.А.Захаров, О.М.Бритков. Разработка макета имплантера для имплантации протонов в полупроводниковые пластины в целях создания многослойных структур. Оборонный комплекс - научно-техническомк прогрессу России. 2005. №3. С.28-32.

    34. S.A.Gavrilov, V.I.Grafutin, O.V.Ilyukhina, G.G.Myasishcheva, E.P.Prokop’ev, S.P.Timoshenkov, Yu.V.Funtikov. Direct Experimental Observation of the Positronium Atom in Porous Silicon by Positron Annihilation Spectroscopy. JETP Letters. 2005. Vol.81. №11. P.680-682.

    35. С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, Ан.С.Тимошенков, В.В.Калугин. Исследование по динамическим вольт-фарадным характеристикам свойств структур КНИ. Тезисы лекций и докладов Третьей Российской школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе. «Кремний, Школа-2005». 4 июля – 7 июля 2005 г. Москва: МИСиС, 2005. С.228-231.

    36. С.П.Тимошенков, О.М.Бритков, В.И.Графутин2, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, Ю.В.Фунтиков, В.В.Калугин, Ан.С.Тимошенков. Применение позитронной аннигиляционной спектроскопии в радиационной физике кремния. Тезисы лекций и докладов Третьей Российской школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе. «Кремний, Школа-2005». 4 июля – 7 июля 2005 г. Москва: МИСиС, 2005. С.226,227.

    37. Ю.А.Чаплыгин, С.П.Тимошенков, Е.П.Светлов-Прокопьев, В.В.Калугин. Геттерирование примесей в структурах КНИ. Тезисы лекций и докладов Третьей Российской школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе. «Кремний, Школа-2005». 4 июля – 7 июля 2005 г. Москва: МИСиС, 2005. С.194,195.

    38. Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Т.Л.Разинкова, В.В.Калугин, Ан.C.Тимошенков. К вопросу неравновесных фазовых переходов в атмосфере собственных дефектов кремния. Тезисы лекций и докладов Третьей Российской школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе. «Кремний, Школа-2005». 4 июля – 7 июля 2005 г. Москва: МИСиС, 2005. С.171,172.

    39. С.П.Тимошенков, В.В.Калугин, Е.П.Светлов-Прокопьев. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: Физико-химические основы сухих методов обработки. Петербургский журнал электроники. 2005. №2. С.15-19.

    40. О.М.Бритков, В.И.Графутин, В.В.Дягилев, А.A.Захаров, О.В.Илюхина, В.В.Калугин, Г.Г.Мясищева, Т.Л.Разинкова, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Изучение методом позитронной аннигиляционной спектроскопии пластин кремния c различными методами обработки поверхности. Материалы семнадцатой Международной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью - 2005». ВИП-2005. (Ion-Surface Interactions. ISI-2005). 25 – 29 августа 2005 г. Звенигород..Россия. М.: МАИ, 2005. Том 2. С.130-133.

    41. О.М.Бритков, С.А.Гаврилов, В.И.Графутин, В.В.Дягилев, В.В.Калугин, О.В.Илюхина, Г.Г.Мясищева, Е.П.Светлов-Прокопьев, С.П.Тимошенков, Ю.В.Фунтиков. Исследование дефектов структуры кремния методом позитронной аннигиляционной спектроскопии.  Труды 5-ой Международной конференции "Ядерная и радиационная физика". 26-29 сентября 2005 года. Алматы, Республика Казахстан. ИЯФ НЯЦ РК: 2005.
      жүктеу/скачать 1.1 Mb.

      Достарыңызбен бөлісу:
    • 1   ...   8   9   10   11   12   13   14   15   16



    ©dereksiz.org 2024
    әкімшілігінің қараңыз
        Басты бет