Ақылбеков Ә. Т. Кривобоков В. П. Даулетбекова А. К. Радиациялық және плазмалық технологиялар Орысша-қазақша терминология анықтамалығы астана-2012 +544 (038) ббк 24. 5 Я 2 а 38



бет54/54
Дата09.06.2016
өлшемі5.14 Mb.
#125080
түріСправочник
1   ...   46   47   48   49   50   51   52   53   54

термовакуумный отжиг 173

термодиффузионное разделение изотопов 250

термодинамические функции 356

термомеханический генератор 38

термомеханические напряжения 145

терморегулирующее покрытие 207

термопарный преобразователь 226

термостойкое покрытие 207

термостимулируемая диффузия 58

термоэлектрический генератор 38

термоэлектрические явления 390

термоэлектронная эмиссия 376

термоэлектродвижущая сила 286

термоэлектронный преобразователь 226

термоэлектронный катод 98

термоядерная реакция 265

термоядерная плазма 192

термоядерный реактор 264

термоядерный взрыв 28

технический вакуум 25

термоядерный синтез 289

техногенный источник излучения 90

техногенное облучение 160

технологическое облучение 160

технологический газ 36

тихий разряд 254

тигельное напыление 149

тонкая пленка 197

тлеющий разряд 254

топливная частица 366

тонкая эпитаксиальная пленка 198

торможение ионов ядерное 327

топливный ядерный цикл 364

точечный дефект 51

тормозное излучение 77

трековые мембраны 126

трансурановые отходы 175

тройная точка 328

трековый фильтр 345

туннельная эмиссия 376

тройные столкновения 310

турбомалекулярные насосы 152

тунельный эффект 385

туннельный переход 185

туннельный микроскоп 136

тяжелые ионы 86

турбулентная диффузия 58

углеродистая дуговая резка 268

убегающие электроны 374

фотоэлетродвижущая сила 287

углеродные нанотрубки 144

ударная вязкость 35

ударная волна 30

ударная рекомбинация 270

ударная ионизация 87

ударная эрозия 382

ударная усталость 340

ударные силы 287

ударное уширение 342

удельная массовая активность 11

удельная ионизирующая способность 87

удельная рефракция 273

удельная поверхность 202

ультразвуковая очистка 177

ультразвуковая кристализациая 114

ультрахолодные нейтроны 155

ультрафиолетовое излучение 77

уплотнительное покрытие 208

универсальные физические постоянные 218

упрочненный поверхностный слой 292

управляемый термоядерный синтез 289

упругая деформация 53

упругая волна 31

упругие столкновения 310

упругие силы 287

упругое торможение 327

упругое рассеяние 261

ускоренный ион 86

ускоренное химическое травление ионным пучком 329

ускоряющее поле 209

ускоритель индукционный 338

фазовое превращение 223

фазовая диаграмма 53

фазовый анализ 16

фазовое пространство 235

фазовый переход второго рода 184

фазовый переход 184

факельный плазматрон 195

фазовый переход первого рода 184

фарадеево пространство 236

факельный разряд 255

фиолетовое смещение 294

ферромагнитные материалы 125

форвакуумные насосы 152

фокусирующий электрод 371

фоторезистивный эффект 386

фотонно-нейтронный анализ 16

фотохимическая реакция 266

фотохимическая диссоциация 55

фотоэлектрические явления 390

фотохимическое разделение изотопов 250

фотоэлектронная эмиссия 376

фотоэлектронная спектроскопия 273

фотоядерная реакция 266

фотоэлектронный умножитель 375

функциональные материалы 125

фрикционное покрытие 208

химическая диффузия 58

хараектеристический рентгеновский спектр 300

химическая связь 281

химическая реакция 265

химический сдвиг 282

химический лазер 115

химическое осаждение из паровой фазы, усиленное плазмой 170

химическое осаждение из паравой фазы 170

химическое распыление 260

химическое покрытие паром 207

холодные нейтроны 155

холодная деформация 53

хрупкий излом 74

хроматическая аберрация 5

центробежное рафинирование 262

центральная сила 287

цепная реакция деления 265

цепная реакция 266

циклический ускоритель 339

циклическая вязкость 35

циклотронное излучение 78

циклотронная частота 367

эквивалентная доза 62

частотно-ипульсный пучок 240

экзоэлектронная эмиссия 376

экзотермическая реакция 266

экстраполированный пробег 229

экспозиционная доза 62

электрическая постоянная 218

электрическая дуга 64

электрические флуктуации 346

электрическая проводимость 232

электрический заряд 69

электрический диполь 54

электрический импеданс 81

электрический зонд 73

электрический потенциал 220

электрический импульс 83

электрический разряд 251

электрический пробой 230

электровакуумные приборы 257

электрическое поле 209

электродвижущая сила 287

электровалентная связь 281

электродуговое напыление 149

электродный потенциал 221

электродуговое распыление 260

электродуговое покрытие 208

электроимпульсная обработка 163

электродуговой испаритель 89

электролизная металлизация 128

электроконтактный нагрев 143

электролитическая ионизация 88

электролитическая диссоциация 55

электролитическое рафинирование 262

электролитическая очистка 177

электромагнитное перемешивание 182

электромагнитное излучение 78

электромагнитное разделение изотопов 251

электромагнитное поле 209

электронная спектроскопия для химического анализа 301

электромагнитное формоизменение 349

электронная микроскопия 136

электронная концентрация 106

электронная оптика 168

электронная оболочка 161

электронная проводимость 232

электронная поляризация 214

электронная эмиссия 376

электронная пушка 240

электронно-дырочная пара 179

электронно-дырочная жидкость 66

электронное торможение 327

электронно-дырочный переход 184

электронно-лучевая литография 117

электронно-зондовые методы 133

электронно-лучевая резка 268

электронно-лучевая обработка 163

электронно-лучевая термообработка 321

электронно-лучевая сварка 279

электронно-лучевое модифицирование 141

электронно-лучевое испарение 88

электронно-лучевой нагрев 143

электронно-лучевой испаритель 89

электронные линзы 116

электронно-лучевой переплав 183

электронный захват 71

электронный газ 36

электронный преобразователь 226

электронный парамагнитный резонанс 268

электронный пучок 240

электронный проектор 233

электронный центр окраски 363

электронный спиновый резонанс 268

эффективная глубина выхода распыляемых атомов 40

электрон-позитронная аннигиляция 17

электроповерхностные явления 391

электроотрицательная плазма 192

электроразрядное шлифование 368

электроположительная плазма 192

электрореактивный двигатель 44

электроракетный двигатель 44

электрохимческое хромирование 360

электростатическая эмиссия 376

элементарная частица 366

электроэрозионная обработка 164

элементарный электрический заряд 69

элементарная ячейка в кристаллах 392

эмиссионные явления 391

эмиссионные материалы 126

энергетическая зона 73

эндотермическая реакция 266

энергетический выход люминесценции 33

энергетическая цена генерации (покрытия) 362

энергетический радиационный выход 34

энергетический переход 185

эрозионностойкое покрытие 208

энергетический реактор 264

эффективное сечение 284

эффективная доза 62

эффективный пробег 229

эффективный заряд 69

ядерная батарея 21

ядерная авария 6

ядерная реакция 266

ядерная плотность вещества 199

ядерная энергия 380

ядерная химия 358

ядерное топливо 326

ядерное оружие 169

ядерный взрыв 28

ядерные силы 287

ядерный квадруполный резонанс 268

ядерный денатурант 47

ядерный реактор 264

ядерный магнитный резонанс 268

ядерный фильтр 345

ядерный сорт 296





Список литературы


  1. Balashov V.V. Interaction of Particles and Radiation with Matter. — Springer, 1996.

  2. Boeing H.V. Fundamentals of Plasma Chemistry and Technology, 1988.

  3. Lieberman M, Lichtenberg A. Principles of Plasma Discharges and Materials Processing. Published by J. Willy and Sons, Inc. — 1994.

  4. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. — М.: Высшая школа, 1984. — 320 с.

  5. Блейхер Г.А., Кривобоков В.П., Пащенко О.В. Тепломассоперенос в твёрдом теле под действием мощных импульсных пучков заряженных частиц. — Новосибирск: Наука, 1999. — 176 с.: ил.

  6. Вендик О.Г., Горин Ю.Н., Попов В.Ф. Корпускулярно-фотонная технология.: Учебное пособие для вузов. — М.: Высшая школа, 1984. — 240 с.: ил.

  7. Габович М.Д., Плешивцев Н.В., Семашко Н.Н. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. — М.: Энергоатомиздат, 1986. — 249 с.

  8. Грибков В.А., Григорьев Ф.И., Калин Б.А. Перспективные радиационно-пучковые технологии / Учебник под ред. Калина Б.А. — М.: Круглый год, 2001. — 528 с.: ил.

  9. Данилин Б.С. Вакуумная техника в производстве интегральных схем. Под общей редакцией Нилендера Р.А. — М.: Энергия,1972.— 256с.

  10. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. — М.: Энергоатомиздат, 1987. — 264 с.

  11. Данилин Б.С., Сырчин В.К. Магнетронные распылительные системы. — М.: Радио и связь, 1982 . 72с.

  12. Дембовский В. Плазменная металлургия. — М.: Металлургия, 1981. — 280 с.: ил.

  13. Диденко А.Н., Лигачев А.Е., Куракин И.Б. Воздействие пучков заряженных частиц. — М.: Энергоатомиздат, 1987. — 184 с.

  14. Костржицкий А.И., Карпов В.Ф., Кабанченко М.П., Соловьёва О.Н. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме. — М.: Машиностроение, 1991. — 176 с.: ил.

  15. Краснов А.Н., Зильберберг В.Г., Шаривкер С.Ю. Низкотемпературная плазма в металлургии. — М.: Металлургия, 1970. — 216 с.: ил.

  16. Новости физики твердого тела. Выпуск II. Нейтронное трансмутационное легирование полупроводников / под ред. Дж. Миза — М.: Мир, 1982. — 264 с.

  17. Оборудование ионной имплантации/ В.В. Симонов, Л.А.Корнилов, А.В. Шашелев, Е.В. Шокин. — М.: Радио и связь, 1988 — 184 с.

  18. Окс Е.М.

  19. Оура К., Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. Введение в физику поверхности. — М.: Наука, 2006. — 490 с.

  20. Плешивцев Н.В., Бажин А.И. Физика воздействия ионных пучков на материалы. М.: Вузовская книга, 1998. —392 с.

  21. Политехнический словарь. Гл. ред. Артоболевский И.И.— М.: Советская энциклопедия, 1977. — 608 с.

  22. Семёнов А.П. Пучки распыляющих ионов: получение и применение. — Улан-Удэ: Изд. БНЦ СО РАН, 1999. — 207 с.: ил.

  23. Справочник по ядерной физике / под ред. акад. Л.А. Арцимовича — М.: Физматгиз, 1963. — 632 с.: ил.

  24. Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения / под общей редакцией Г.Хасса и Р.Э.Туна. — Т.IV. — пер. с англ. под ред. В.Б. Сандомирского, А.Г. Ждана. — М.: Мир, 1970 — 440 с.

  25. Физическая энциклопедия / Гл. ред. А.М. Прохоров. Ред. кол.: Д.М. Алексеев, А.М. Балдин, А.М. Бонч-Бруевич, А.С. Боровик-Романов и др. — М.: Большая Российская энциклопедия. Т.I. — Т.IV., 1998.

  26. Физический энциклопедический словарь. Гл. ред. Прохоров А.М. — М.: Советская энциклопедия, 1984. — 944 с.: ил.

  27. Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М., Атомиздат, 1972. — 304 с.: ил.

  28. Двуреченский А.В., Качурин Г.А., Нидаев Е.В., Смирнов Л.С. Импульсный отжиг полупроводниковых материалов. М.: Наука, 1982. 208 с.

  29. ГОСТ 28076-89. Газотермическое напыление. Термины и определения.





Достарыңызбен бөлісу:
1   ...   46   47   48   49   50   51   52   53   54




©dereksiz.org 2024
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет