Ақылбеков Ә. Т. Кривобоков В. П. Даулетбекова А. К. Радиациялық және плазмалық технологиялар Орысша-қазақша терминология анықтамалығы астана-2012 +544 (038) ббк 24. 5 Я 2 а 38



жүктеу 9.53 Mb.
бет41/54
Дата09.06.2016
өлшемі9.53 Mb.
1   ...   37   38   39   40   41   42   43   44   ...   54

жұғу бұрышы / marginal angle —дене беті мен сұйықтың денемен жанасқан нүктесінде қисайған бетіне жүргізілген жанама арасындағы бұрыш; қатты дене, сұйық және газдың жанасу шекарасындағы молекулааралық әсерлесумен сипатталады.



Удар ионный

Ion impact

Взаимодействие ускоренного иона с атомом, молекулой или другой частицей, следствием которого становится упругое, неупругое рассеяние или ядерная реакция.



Ионды соққы

Ion impact

Салдары серпімді, серпімсіз шашырау немесе ядролық реакция болатын үдетілген ионның атом, молекула немесе басқа бөлшекпен өзара әсерлесуі.



Удар тепловой

Thermal shock

Развитие высоких напряжений в материале, связанное с резким перепадом температур.



Жылулық соққы

Thermal shock

Температураның бірден түсуіне байланысты материалда жоғары қысымдардың дамуы.



Удар тепловой

Thermal shock

Возникновение и развитие высоких механических напряжений в материале, связанное с резким перепадом температур.



Жылулық соққы

Thermal shock

Материал температурасының күрт төмендеуі салдарынан жоғары механикалық кернеудің туындауы.



Удлине́ние

Elongation, extension, enlargement

Величина пластической деформации материала (образца, изделия) после разрыва в условиях одноосного растяжения.



Ұзару

Elongation, extension, enlargement

Бірості созу жағдайында үзілуден кейінгі материалдың пластикалық деформациясының шамасы.


удлинение относительное / tensile strain, percent elongation — отношение изменения линейного размера тела при растяжении к его первоначальному значению.

салыстырмалы ұзару / tensile strain, percent elongation— дененің созу кезіндегі сызықтық өзгерісінің оның бастапқы мәніне қатынасы.


У́зел вакансио́нный

Vacancy


Узел пространственной решетки кристалла, не занятый атомом.

См. также вакансия.




Вакансиялық түйін

Vacancy


Кристалдың кеңістіктік торының атомы жоқ түйіні.

Сон. қ . қараңыз: вакансия.




Умножитель фотоэлектронный

Photoelectric multiplier, multipier photocell

Прибор для преобразования слабых световых сигналов в электрические. Его действие основано на фотоэлектронной и

вторичной электронной эмиссиях.




Фотоэлектронды көбейткіш

Photoelectric multiplier, multipier photocell

Әлсіз жарық сигналдарын электрлі сигналдарға түрлендіретін құрал. Оның әсері фотоэлектронды және екіншілік электронды эмиссияларға негізделген.



Упрочне́ние материа́ла

Hardening

Повышение сопротивления материала пластической деформации и разрушению под действием внешних нагрузок.



Материалдың беріктелуі

Hardening

Материалдың сыртқы күш әсерінен туын-дайтын пластикалық деформация мен қирау процесіне қарсы тұру қабілетінің артуы.


упрочнение лазерное / laser hardening — процесс поверхностного упрочнения, использующий лазер для быстрого нагрева поверхности.

упрочнение лазерное / laser hardening — бетті жылдам қыздыру мақсатында лазер қолданылатын бетті беріктеу процесі.


упрочнение плазменное / plasma hardening — процесс поверхностного упрочнения материалов и изделий с использованием плазмы.

упрочнение плазменное / plasma hardening — плазманы қолдана отырып материалдар мен бұйымдарды беттік беріктеу процесі.


Упру́гость

Elasticity; pressure, tension

Свойство тел изменять форму и размеры под действием нагрузок и самопроизвольно восстанавливать исходную конфигурацию при прекращении внешних воздействий.



Серпімділік

Elasticity; pressure, tension

Дененің жүктеме әсерінен формасы мен өлшемдерін өзгерту және сыртқы әсерлер тоқтаған кезде өзінің бастапқы пішінін өздігінен қалпына келтіру қасиеті.



Уравнение Власова

Кинетическое уравнение для описания бесстолкновительной плазмы (типа уравнения Больцмана).


Власов теңдеуі

Соқтығыпайтын плазманы сипаттауға арналған кинетикалық теңдеу (Больцмен теңдеуі секілді).



Уравнение теплопроводности

Heat conductivity equation

Уравнение, описывающее процесс распространения теплоты в сплошной среде (газе, жидкости или твердом теле); основное уравнение математической теории теплопроводности. Выражает тепловой баланс для малого элемента, объема среды с учетом поступления теплоты от источников и тепловых потерь через поверхность элементарного объема вследствие теплопроводности.

Жылуөткізгіштік теңдеуі

Heat conductivity equation

Тұтас ортада (газда, сұйықтықта немесе қатты денеде) жылудың таралу процесін бейнелейтін теңдеу; жылуөткізгіштіктің математикалық теориясының негізгі теңдеуі. Элементар көлемнің беті арқылы жылу шығыны мен көзден жылу алу арқылы жылуөткізгіштік салдарынан орта көлемінің немесе аз элементтің жылулық балансын көрсетеді.




Уравнения состояния

State equation, constitutive equation

Уравнения, выражающие связь между параметрами состояния физически однородной системы при термодинами-ческом равновесии. Термическое уравнение состояния связывает давление p с объемом V и температурой T, а для многоком--понентных систем – также с составом (молярными долями компонентов). Калори-ческое уравнение состояния выражает внутреннюю энергию системы как функцию V, T и состава. Обычно под уравнением состояния, если специально не оговари-вается, подразумевают термическое урав-нение состояния. Из него можно непосред-ственно получить коэффициент терми-ческого расширения, коэффициент изотер-мического сжатия, термический коэффи-циент давления (упругости). Уравнение состояния является необходимым допол-нением к термодинамическим законам. Пользуясь им, можно раскрыть зависимость термодинамических функций от V и p, проинтегрировать дифференциальные тер-модинамические отношения, рассчитать летучести (фугитивности) компонентов системы, через которые обычно записывают условия равновесия фазового (см. ст. равно-весие) и т.д. Термодинамика устанавливает связь между уравнением состояния и любым из потенциалов термодинамических системы, выраженным в виде функции своих естественных переменных. Урав-нение состояния идеального газа имеет вид pV=RT, где V – молярный объем, R – уни-версальная газовая постоянная. Этому уравнению подчиняются реальные газы при высоких разрежениях.



Күй теңдеуі

State equation, constitutive equation

Термодинамикалық тепе-теңдік кезіндегі біртекті жүйенің физикалық күй параметрлері арасындағы байланысты көрсететін теңдеу. Күйдің термиялық теңдеуі p қысымды V көлем және T температурамен, ал көпкомпонентті жүйелерге – сондай-ақ құраммен (компоненттердің молярлы үлестерімен) байланыстырады. Күйдің калориялық теңдеуі V, T функциясы мен құрам сияқты жүйенің ішкі энергиясын білдіреді. Әдетте егер нақтыламаса, күй теңдеуі ретінде күйдің термиялық теңдеуін түсінеді. Бұл теңдеуден термиялық кеңейту коэффициентін, изотермиялық сығу коэффициентін, қысымның (серпімділіктің) термиялық коэффициентін алуға болады. Күй теңдеуі термодинамикалық заңдарға қажетті қосымша болып табылады. Оны қолдана отырып, термодинамикалық функциялардың V мен p тәуелділігін ашуға, дифференциалды термодинамикалық қатынастарды интеграциялауға, бұл арқылы әдетте фазалық тепе-теңдік шарттарын жазатын жүйе компоненттерінің ұшқыштығын (фигутивтілігін) есептеуге және т.б болады. Термодинамика күй теңдеуі мен өзінің табиғи айнымалыларының функциялары түрінде берілген термодинамикалық жүйе потенциалдарының кез келгенімен байланысты орнатады. Идеал газдың күй теңдеуі, бұл жердегі V – молярлы көлем, R – универсал газды тұрақты болатын pV=RT түрге ие. Бұл теңдеуге жоғары разрядтау кезінде реал газдар бағынады.


Уровень

Level

В радиационной физике твердого тела – возможные значения какого-либо параметра, характеризующего состояние системы.

Деңгей

Level

Қатты дененің радиациялық физикасында – жүйенің күйін сипаттайтын қандай да бір параметрдің мүмкін мәндері.



уровень вмешательства / intervention level – в радиационной безопасности это значение параметра радиационного фактора (например, мощности экспозиционной дозы), при превышении которого следует проводить определенные защитные мероприятия.

араласу деңгейі / intervention levelрадиациялық қауіпсіздікте шамадан тыс артық болғанда қандай да бір қорғану шараларын жүргізу қажет болатын радиациялық фактор (мысалы экспозияицялық доза қуаты) параметрінің мәні.

уровень контрольный / reference level, testing level – значение контролируемой величины дозы, мощности дозы, радиоактивного загрязнения и т.д., устанавливаемое для оперативного радиационного контроля с целью закрепления достигнутого уровня радиационной безопасности, обеспечения дальнейшего снижения облучения персонала и населения, радиоактивного загрязнения окружающей среды.

бақылау деңгейі / reference level, testing level – қол жеткізілген радиациялық қауіпсіздік деңгейін бекіту, халық пен қызметкерлердің сәулеленуінің ары қарай төмендеуін қамтамасыз ету, қоршаған ортаның радиобелсенді ластануын төмендету мақсатымен жедел радиациялық бақылау үшін орнатылған бақыланатын доза шамасының, доза қуатының, радиобелсенді ластану және т.б мәні.

уровень примесный / inpurity level, dopand0induced state, impurity stateэнергетическое состояние полупроводника, расположенное в запрещенной зонеи обусловленное присутствием в нем примесей и структурных дефектов.

қоспалы деңгей / inpurity level, dopand0induced state, impurity state тыйым салынған аймақта орналасқан және онда қоспалар мен құрылымдық ақаулардың болуына негізделген жартылай өткізгіштің энергетикалық күйі.

уровень Ферми / Fermi levelнекоторый условный уровень энергии системы фермионов, в частности электронов твердого тела, соответствующий энергии Ферми (см. ст. энергия).

Ферми деңгейі / Fermi level Ферми энергиясына сәйкес келетін (қара. ст. энергия) көбінесе қатты дене электрондарының фермиондар жүйесі энергиясының қандай да бір шартты деңгейі.

уровни энергии / energy levelsвозможные значения энергии квантовых систем (атомов, молекул, кристаллов атомных ядер и т.д.), состоящих из микрочастиц и подчиняющихся законам квантовой механики.

энергиялар деңгейлері / energy levels микробөлшектерден тұратын және квантты механика заңдарына бағынатын квантты жүйелер (атомдардың, молекулалардың, атомдық ядролар кристалдарының және т.б) энергияларының мүмкін мәндері.


Ускорение коллективное

Collective acceleration

Принципы ускорения заряженных частиц, а также способы их удержания в процессе ускорения, которые предполагают использование собственных электромаг-нитных полей, возникающих в результате взаимодействия одной группы зарядов с другой либо в результате взаимодействия группы зарядов с электромагнитной волной или плазмой (в отличие от обычных методов ускорения, в которых создоваемые внешние поля, электрические и магнитные, имеют конфигурацию, обеспечивающую как ускорение, так и удержание в процессе ускорения заряженных частиц).


Ұжымдық үдету

Collective acceleration

Зарядтар топтарының электромагнитті толқын немесе плазмамен өзара әрекет ету нәтижесінде немесе бір топтың екіншісімен өзара әрекет ету нәтижесінде туындайтын өздік электромагнитті өрістерді пайдалануды ұсынатын үдету процесіндегі оларды ұстап қалу тәсілдері, сондай-ақ зарядталған бөлшектер үдеуінің принциптері (жасалушы сыртқы электрлі және магнитті өрістер үдетудің басқа тәсілдеріне қарағанда, зарядталған бөлшектердің үдеу процестерінде үдетуді де, ұстап қалуды да қамтамасыз ететін конфигурацияға ие).




Ускори́тель заря́женных части́ц

Сharged particle accelerator, high-voltage accelerator

Установка для ускорения заряженных частиц до высоких энергий. При обычном словоупотреблении ускорителями называют установки, рассчитанные на ускорение частиц до высоких энергий.



Зарядталған бөлшектердің үдеткіші

Сharged particle accelerator, high-voltage accelerator



Зарядталған бөлшектерді жоғары энергияларға дейін үдетуге арналған қондырғы. Жалпы үдеткіштер деп элементар бөлшектерді жоғары энергияға дейін үдететін қондырғыларды айтады.

ускоритель индукционный / inductition accelerator — ускорители, в которых ускоряющее электрическое поле создаётся за счёт изменения во времени магнитного поля (эдс индукции). Например, бетатрон.

индукциялық үдеткіш / inductition accelerator — үдетуші электр өрісі магнит өрісін уақыт бойынша өзгерту (индукцияның ЭҚК-і) арқылы алынатын үдеткіштер. Мысалы, бетатрон.

ускоритель кластерный / cluster accelerator — устройство для ускорения крупных заряженных частиц, содержащих 102-1012 атомов. Ускорение происходит в электрическом поле. Применяется для имитации воздействия микрометеоритов и космической пыли на поверхность космических летательных аппаратов, осаждения модифицирующих кластерных покрытий и других целей.

кластерлік үдеткіш- / cluster accelerator — 102-1012 атомнан тұратын ірі зарядталған бөлшектерді үдетуге арналған құрылғы. Үдету электр өрісінде іске асады. Ғарыштық ұшу аппараттарының бетіне микро-метеориттер мен ғарыш шаңының әсерін иммитациялау үшін, модифи-кациялаушы кластерлік жамылңыларды қондыру үшін және т.б. мақсаттар үшін қолданылады.


ускоритель на встречных пучках / double clashing-beam accelerator - установка, в которой осуществляется столкновение встречных пучков заряженных частиц (элементарных частиц и ионов), ускоренных электрическим полем до высоких энергий. На таких ускорителях исследуются взаимодействия частиц и рождение новых частиц при максимально доступных в лабораторных условиях эффективных энергиях столкновения. Наибольшее распространение получили ускорители со встречными электрон-электронными (e-e-), электрон-позитронными (e-e+) и протон-протонными (pp) пучками.

қарама-қарсы шоқты үдеткіш / double clashing-beam accelerator - электр өрісі жоғары энергияларға дейін үдеткен, зарядталған бөлшектердің (элементар бөлшектер мен иондар) қарама-қарсы шоқтарының соқтығысуы іске асатын құрылғы.Осындай үдеткіштерде бөлшектердің әсерлесуі және соқтығысудың эффективті энергияларында максималь өолжетімді зертханалық жағдайларда жаңа бөлшектердің туындауы зерттеледі. Электрон-электронды (e-e-), электрон-позитронды (e-e+) және протон-протонды (pp) қарама-қарсы шоқты үдеткіштер кеңінен таралған.

ускоритель перезарядный (тандем) / recharging accelerator — ускоритель заряженных частиц, в котором благодаря перезарядке ускоряемых ионов одно и то же ускоряющее напряжение используется дважды.

қайтазарядтаушы үдеткіш (тандем) / recharging accelerator - үдетілетін иондардың қайта зарядталуы нәтижесінде бір үдетуші кернеу екі рет қолданылатын зарядталған бөлшектерді үдеткіш.

ускоритель сильноточный / high-current accelerator — устройство для получения мощных потоков заряженных частиц с энергией более 105 эВ, создающих ток более 104 А. Характерным масштабом тока в теории сильноточных ускорителей принято считать величину 17 кА. При токах, существенно превышающих это значение, собственное электромагнитное поле пучка значительно влияет на его параметры.

күшті үдеткіш / high-current accelerator — энергиясы 105 эВ-тан артық, 104 А-тен жоғары токтар жасайтын зарядталған бөлшектердің қуатты ағынын алатын құрылғы. Күшті үдеткіштер теориясында токтың сипаттамалық масштабы ретінде 17кА шаманы алу келісілген. Осы мәннен артатын токтарда шоқтың меншікті электромагниттік өрісі оның параметрлеріне әсер етеді.

ускоритель циклический / cyclic accelerator — ускоритель заряженных частиц, в котором благодаря управляющему магнитному полю частицы движутся по орбитам, близким к круговым или спиральным, многократно проходя через один и тот же ускоряющий промежуток.

циклдік үдеткіш / cyclic accelerator — басқаратын магнит өрісінің салдарынан бөлшектер бірдей үдеткіш аралықтан көпрет өтіп, шеңберге немесе спиральға жаұын орбиталармен қозғалатын зарядталған бөлшектерді үдеткіш.


ускорители перезарядные (тандем) / recharging accelerator — ускори­тель заряженных частиц, в ко­тором благодаря перезарядке ускоряемых ионов одно и то же ускоряющее напряжение используется дважды.

асқын зарядталған үдеткіштер / recharging accelerator — бір үдетуші кернеу үдетілуші иондардың қайта зарядталуының арқасында үдету процесінде екі рет қолданылатын зарядталған бөлшектердің үдеткіші.

ускорители циклические / cyclic accelerator — ускоритель заряженных частиц, в котором их траектории близки к круговым или спиральным и частицы многократно совершают движение по ним.

циклдік үдеткіштер / cyclic accelerator — траекториялары шеңбер немесе спиральға жуық және бөлшектер олардың бойымен бірнеше рет қозғалыс жасайтын зарядталған бөлшектер үдеткіші.

ускорители линейные / linear accelerator — ускорители заряженных частиц, в которых траектории частиц близки к прямым линиям.

сызықтық үдеткіш / linear accelerator — бөлшектердің траекториясы түзу сызыққа жақын зарядталған бөлшектердің үдеткіші.

ускорители плазменные / plasma accelerator — устройства для получения потоков плазмы со скоростями 10-103 км/сек и более, что соответствует кинетической энергии ионов от ~10 эв до 105-106 эв.

плазмалық үдеткіштер / plasma accelerator — иондардың ~10 эв-тан 105-106 эв-қа дейінгі кинетикалық энергиясына сәйкес келетін, 10-103 км/сек және одан да жоғары жылдамдықтағы плазма ағынын алуға арналған үдеткіш.


Усталость

Fatigue


Изменение механических и физических свойств материалов при длительном воздействии циклически изменяющихся во времени напряжений и деформаций, приводящее в конце концов к разрушению конструкций.


Қажу

Fatigue


Соңында кұрылыстың бұзылуына алып келетін уақыт ішінде циклды өзгеруші кернеу мен деформацияның ұзақ әсер етуінен материалдардың физикалық және механикалық қасиеттерінің өзгеруі.

усталость высокочастотная / high-frequency fatigue — усталость материала при циклических нагрузках с частотами < 300 Гц.

жоғары жиілікті қажу / high-frequency fatigue — материалды < 300 Гц жиілікпен циклді түрде жүктеу нәтижесінде қажуы.

усталость контактная / contact fatigue — усталость, при которой накопление повреждений или разрушений происходит под действием переменных контактных напряжений; характеризуется появлением «выкрашиваний» (питгингов) на контактных поверхностях или трещин.

усталость контактная / contact fatigue — бұзылулардың немесе қираулардың жинақталуы айнымалы контактілі кернеудің әсерінен туындайтын қажу; түйісу беттерінде немесе сызаттарда «боялулардың» пайда болуымен сипатталады.

усталость коррозионная / corrosion fatigue — хрупкое разрушение металла в резуль-тате образования трещин меж- и транскрис-таллитного характера при одновременном воздействии коррозионной среды и пере-менных (циклических) напряжений, обычно не превышающих предел упругости.

коррозиялық қажу / corrosion fatigue — металдың коррозиялық орта мен негізінен серпімділік шегінен аспайтын айнымалы (циклдік) кернеулердің әсерінен кристаллитаралық және транскристаллиттік сызаттардың түзілуінің салдарынан морт қирауы.

усталость термическая / thermal fatigue — малоцикловая низкочастотная усталость, которая характеризуется тем, что возбуж-дение переменных температурных остаточ-ных напряжений в материале обусловлено циклическим изменением температуры.

термиялық қажу / thermal fatigue — аз циклді төмен жиілікті қажу, материалдағы температураның циклдік өзгерісі нәтижесінде айнымалы температуралық қалдықтық кернеулердің қозуымен сипатталады

усталость ударная / impact fatigue — усталость, вызванная циклическими ударными нагрузками.

соққылық қажу / impact fatigue — циклдік соққылық жүктеулердің нәтижесінде туындаған қажу.


Установка

Installation

Аппарат для выполнения определенного набора технологических операций с использованием пучков заряженных частиц, ионизирующих излучений, плазмы и т.д.




Құрылғы

Installation

Зарядталған бөлшектер шоғын, иондаушы сәулеленуді, плазманы және т.б көмегімен белгілі бір технологиялық операциялардың жиынын орындауға арналған аппарат.



установки вакуумно-напылительные

/ vacuum evaporation [evaporator] unit , vacuum evaporation plant, vacuum sputtering plant. Для вакуумного напыления используют технологическое оборудование периодического, полунепрерывного и непрерывного действия. Установки периодического действия осуществляют один цикл нанесения пленок при заданном числе загружаемых изделий. Установки непрерывного действия используют при серийном и массовом производстве. Они бывают двух видов: многокамерные и многопозиционные однокамерные. Первые состоят из последовательно расположенных напылительных модулей, в каждом из которых осуществляется напыление пленок определенных материалов или их термическая обработка и контроль. Модули объединены между собой шлюзовыми камерами и транспортирующим конвейер-ным устройством. Многопозиционные однокамерные установки содержат несколь-ко напылительных постов (расположенных в одной вакуумной камере), соединяемых транспортным устройством конвейерного или роторного типа.

Основные узлы и системы установок для вакуумного напыления представляют собой самостоятельные устройства, выполняющие заданные функции: создание вакуума, испарение или распыление материала пленок, транспортировку деталей, контроль режимов вакуумного напыления и свойств пленок, электропитание и др. Обычно установка для вакуумного напыления включает следующие узлы: рабочую камеру, в которой осуществляется напыл-ение пленок; источники испаряемых или распыляемых материалов с системами их энергопитания и устройствами управления; откачную и газораспределительную сис-темы, обеспечивающие получение необхо-димого вакуума и организацию газовых потоков (состоят из насосов, натекателей, клапанов, средств измерения вакуума и скоростей газовых потоков); систему электропитания и блокировки всех устройств и рабочих узлов установки; систему контроля и управления установкой вакуумно-напыления обеспечивающую заданные скорость напыления, толщину пленок, температуру поверхности деталей, температуру отжига, физические свойства пленок (содержит набор датчиков, связанных через управляющую микро-процессорную ЭВМ с исполни-тельными механизмами и устройствами вывода информации); транспортирующие устрой-ства, обеспечивающие ввод и вывод деталей в рабочую камеру, точное размещение их на постах напыления и перевод из одной позиции напыления на другую при создании многослойной системы пленок; систему вспомогательных устройств и технологи-ческую оснастку (состоят из внутри-камерных экранов, заслонок, манипул-яторов, гидро-и пневмоприводов, устройств очистки газов.


иакуумды-тозаңдатқыш құрылғы

/ vacuum evaporation [evaporator] unit , vacuum evaporation plant, vacuum sputtering plant.

Вакуумды тозаңдатуға периодты, жартылай үздіксіз және үздіксіз режимдегі технологиялық құрылғылар қолданылады. Периодты әсердегі қондырғылар жүктелетін бұйымды қабыршық түрінде циклді режимде жағады. Үздіксіз әсердегі қондырғылар сериялы және жаппай өндірісте қолданылады. Олар екі түрде болады: көп камералы және көп позициялы бір камералы. Біріншісі тізіле орналасқан, әрқайсысында белгілі бір материалдың тозаңдалуы немесе олардың термиялық өңделуі мен басқарылуы жүзеге асатын тозаңдағыш модульдерден тұрады. Модульдер бір-бірімен шлюздік камералармен және тасымалдағыш конвейерлі қондырғымен байланысқан. Көп позициялы бір камералы қондырғылар конвейер немесе ротор типті тасымалдағыш құралдармен біріктірілген тозаңдағыш посттардан (бір вакуумды камерада орналасқан) тұрады.

Вакуумды тозаң-датуға арналған қондырғының түйіндері мен жүйелері әртүрлі функцияларды (вакуум жасау, қабыршық материалын буландыру немесе тозаңдату, детальдерді тасымалдау, вакуумдық тозаңдату режимі мен қабыршықтың қасиеттерін қадағалау, электр тогымен қамтамасыз ету және т.б.) орындайтын жеке құрылғылардан тұрады. Әдетте вакуумды тозаңдату қондырғысы келесі түйіндерден тұрады: қабыршықтың тозаңдатылуы жүзеге асатын жұмыстық камерадан, электр тогымен қоректендіру жүйесі мен басқару құрылғысы бар материалды буландыру және тозаңдату көздерінен, қажетті вакуумды орнатуға арналған және газ ағыстарын реттеп отыратын сорғыш және газүлестіргіш жүйеден (насостардан, клапандардан, қақпандардан, фланцілер мен қақпақтардан, вакуумді және газ ағысының жылдамдығын өлшеуге арналған құралдардан тұрады), электрмен қоректендіру мен қондырғының барлық құрылғыларын және жұмыстық түйіндерін оқшаулауға арналған жүйеден, тозаңдандыру жылдамдығын, қабыршықтың қалыңдығын, бұйым бетінің температурасын, күйдіру температурасын, қабыршықтың физикалық қасиеттерін (басқарушы микропроцессорлық ЭЕМ арқылы орындаушы механизмдермен және ақпараттын шығару құрылғыларымен байланысқан датчиктер жиынынан тұрады) қадағалауды қамтамасыз ететін вакуумды тозаңдандыру қондырғысын бақылауға және басқаруға арналған жүйеден, қабыршықтың көп қабатты жүйесін құру кезінде жұмыс камерасына бұйымдардың ендірілуі мен шығарылуын, олардың тозаңдау посттарында дәл орналасуы мен бір тозаңдану позициясынан келесісіне орын ауыстыруын қамтамасыз ететін құрылғыдан, көмекші құрылғылар мен технологиялық жарақтарынан тұрады.



1   ...   37   38   39   40   41   42   43   44   ...   54


©dereksiz.org 2016
әкімшілігінің қараңыз

    Басты бет